探針式輪廓儀/臺階儀
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/22 16:45:03
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純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
v 測量功能:二維表面輪廓測量 /可選三維測量
v 樣品視景:可選放大倍率,1 to 4mm FOV
v 探針壓力:使用LIS 3 傳感器 1至15mg
v 低作用力:使用N-Lite+低作用力傳感器: 0.03至15mg
v 探針曲率半徑可選范圍: 50nm至25 um
v 高徑比(HAR)針尖: 10um x 2um和200um x 20um 可按客戶要求定制針尖
v 樣品X/Y載物臺:
手動X-Y平移:100mm (4英寸)
機(jī)動X-Y平移:150mm (6 英寸)
v 樣品旋轉(zhuǎn)臺:手動,360° 旋轉(zhuǎn) 機(jī)動,360°旋轉(zhuǎn)
v 掃描長度范圍:55mm(2英寸)
v 每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn):最多可達(dá)120.000數(shù)據(jù)點(diǎn)
v 樣品厚度:50mm(2英寸)
v 晶圓尺寸:200mm(8英寸)
v 臺階高度重現(xiàn)性:<4A,1sigma在1um臺階上
v 垂直范圍:1mm(0.039英寸)
v 垂直分辨率:1A (6.55um垂直范圍下)