電子束光刻系統
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 研啟科學儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/10/22 16:21:43
- 訪問次數 177
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v 最小線寬≤8nm 光柵周期≤40nm
v 拼接精度:
100μm寫場下,拼接精度≤20nm【mean】+3sigma
500μm寫場下,拼接精度≤30nm【mean】+3sigma
v 套刻精度:
100μm寫場下,拼接精度≤20nm【mean】+3sigma
500μm寫場下,拼接精度≤25nm【mean】+3sigma
v 束電流穩定性<0.2%/h 束位置穩定性<120nm/8h
v 50KV加速電壓下,寫場可在0.5μm~500μm的范圍內連續可調
v 肖特基熱場發射電子束源,加速電壓≥50kv,束電流范圍至少為50pA~40nA,束電流≥40nA
v 圖像發生器掃描頻率≥50MHz,20bit分辨率,最小步距為0.5nm
v 通用樣品架可承載散片,4inch以下的襯底,4inch專用晶圓專用樣品架,6inch專用晶圓專用樣品架,多樣品專用樣品架