是一款汞探針CV自動圖形掃描測量系統。它使用高頻CV測量分析系統，可以對75mm、100mm、125mm、150mm、200mm（以及300mm）直徑的測試片進行測量和自動成圖。該系統采用的汞探針設計，從而允許測試片正面朝上，相比于傳統的汞探針測試系統將測試片正面朝下吸附在樣品臺上而言，該設計能夠避免在成圖測量時的表面沾污和破壞。探針的CV系統是一種雙極測試設備，兩個接口被分別連接在樣品的兩個電極上。實際的CV測試包括兩個方面：在樣品電極上施加反向（或正向）偏置電壓；測試兩個接口之間的電容。

金屬電極和耗盡區構成一個極板電容，這和兩塊金屬板構成的空氣電容類似。當反偏電壓越來越大時，耗盡層越來越深，對應的電容會越來越小。從測到的電容電壓數據對，我們可以分析計算出摻雜濃度隨深度的變化曲線。從得到的曲線可以進一步判斷摻雜濃度在深度分布上是否均勻等