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化工儀器網>產品展廳>工業在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>質量流量計>SEC-Z517MGX horiba IGS氣體質量流量計Z517/Z527MGX

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SEC-Z517MGX horiba IGS氣體質量流量計Z517/Z527MGX

參考價 18000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準

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我公司代理進口品牌多年,有兩大業務:horiba質量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導體設備供應商,主要提供氣體質量流量控制器、液體質量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導體設備PECVD、MOCVD、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用。暢銷的質量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國內組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000,氣體濃度計IR-300、IR-400,汽化器有VE10、VE20、MV-2000,皂膜流量計SF/VP系列,真空計VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產商,有多個自主品牌:MagnehelicFlotectMercoidLove,主要產品有:差壓表2000-250Pa、負壓表2000-500Pa2000-60pa2000-25MBAR2000-3KPA2000-1000PA;數顯變送器MS-111MS111LCDMS121LCDMS311LCDMS141LCD;防爆差壓開關1950-1-2F1950-5-2F1950-20-2F1950G-1-2F-241950-0-2Fflotect流量開關V4-2-UV6EPBBS1BATV6EPBBS3BATV6EPBBSLFflotect液位開關L6EPBBS3CCSA;風速變送器641-6-LED641-12-LED641RM-12-LED;轉子流量計RMB-11-SSV-APFRMA-13-SSV-APFRMA-25-SSV-APFRMA-150-SSV-APFRMB-51D-SSV-BPFRMB-57D-SSV-BPFRMB-85D-SSV-BPFVFA-2-BV;高低壓報警開關A3000-1KPA-240VACA3000-750PA-240VAC3000MR-500PA3000MR-60PA3000MR25MM;防爆差壓開關AT23000MRAT21910AT21823AT2MSAT21640AT11910AT1ADPS

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計等;韓國TKSUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應用于電子半導體,太陽能,暖通,空調,食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環境監測,工業制造和實驗室等領域。



氣體質量流量計,熱式質量流量計,熱式質量流量控制器,液體質量流量計,液體質量流量控制器,壓力調節閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機

產地類別 進口 產品種類 質量式
價格區間 1萬-3萬 介質分類 氣體
應用領域 生物產業,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 氣體 N2、SiH4、Ar等
量程 10SLM、最小3sccm 接口 IGS 14W3
通訊 EtherCat

Horiba SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX高精度質量流量

暢銷型號: SEC-Z514MGXSEC-Z524MGMSEC-Z512SEC-Z522

可選低成本數字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGMSEC-N122MGMSEC-N132MGMSEC-N142MGM

可選低成本模擬型:SEC-E40SEC-E50SEC-E60SEC-E40MK3

國內組裝模擬型:Horiba S48 28horiba S48 32S300

國內組裝數字型:S600 BR212S600 BR222S600 BM212S600 BM222S600 BR226S600 BM226S600 CR212S600 CR222S600 CR226S500BR212S500BM212  

   

horiba高精度氣體質量流量計Z512 又稱氣體質量流量控制器,簡稱MFC

主要功能是:控制器管路中的流量達到期望的設定值,同時反饋實際的流量信號到上位機。

大流量Horiba氣體質量流量計SEC-Z512是一款高穩定性高精度的MFC,用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中,國內多回收、二次銷售,

我公司提供進口

SEC-Z512MGXSEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,

保證全新進口,終身維修


產品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現場設定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應:< 1(全量程范圍內,任意設置點);
4) 非常方便的現場設置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現有模擬式質量流量控制器兼容;
7) 可選其他數字通訊:DeviceNetEtherCATCC-Link、模擬信號。


horiba高精度氣體質量流量計Z512 horiba高精度氣體質量流量計Z512

產品參數

規格-數字-模擬轉換模式

型號*1

SEC-Z512Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全標準流量
(N2 轉換流量)

1/2SCCM


10SCCM-10SLPM

10-50SLM

閥門類型

O: 通常打開 C: 通常關閉

關閉控制閥時的流量

≤ 2% F.S.

流量測量范圍

0-100% of F.S.

精確性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作溫度

5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)

響應

≤ 1 :超過全流量范圍

直線性

≤ ±0.5% F.S.

反復性

≤ ±0.2% F.S.

工作壓差值

≤ 300 kPa (d)

zui大工作壓力

450 kPa (g)

耐壓

1000 kPa (g)

外部泄漏率

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量設定信號

0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高

流量輸出信號

0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高

數字界面

地址功能: RS-485 (轉換速度 38,400 bps)

F-Net 協議,DevceNet

接液部材質

316L 不銹鋼(表面拋光)

電源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信號反應

模擬: D-Sub 9-pin (TOP)

數字: 2 LAN jacks (TOP)

標準接頭*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可選1.125 inch IGS

安裝方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯合全范圍MR以及MG數字值。
*3IGS: 完整氣體系統
*SCCM SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C101.3 kPa)

訂購注意:

請提供產品的介質名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設備備件的更換,請提供原產品的背面圖片和側面圖片、頂部圖片。






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