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pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測儀
- 公司名稱 陜西富賽思儀器儀表有限公司
- 品牌 Bigdipper/北斗星儀器
- 型號 pGas200-ASM-SC-6s
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/14 11:58:41
- 訪問次數(shù) 314
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 測試氣體 | ?硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣 |
|---|---|---|---|
| 技術(shù) | EC | 采樣方式 | 擴(kuò)散式采樣 |
| 標(biāo)準(zhǔn)報警 | TWIN | 主機(jī)分辨率 | 0.025%FS |
| 探頭準(zhǔn)確度 | ±1-2%讀數(shù)(一般) | 探頭響應(yīng)時間 | <1min |
| 環(huán)境溫度 | -10℃～60℃ | 環(huán)境濕度 | 10%～90%R（無結(jié)露） |
| 采樣溫度 | 0-40℃ | 采樣壓力 | <1.1 kgf/cm2 |
| 供電電池 | 6V充電蓄電池 |
pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測儀是一款專門用于檢測半導(dǎo)體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的實(shí)用型產(chǎn)品，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點(diǎn)，可檢測硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣、氨氣等上百種氣體，適用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。電化學(xué)探頭直接采樣，配有方便背包、打印功能，對現(xiàn)場檢測、或?qū)嶒?yàn)室檢測尤其方便適用。
便攜式氣體分析儀應(yīng)用：
環(huán)境檢測
污染源檢測
工業(yè)工藝現(xiàn)場分析
科學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室分析
軍事毒氣安全
勞動安全，施工安全
化學(xué)泄露、事故分析
pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測儀技術(shù)指標(biāo):
BD4主機(jī)測試ADC分辨率: 0.025%FS
電化學(xué)探頭準(zhǔn)確度: ±1-2%讀數(shù)(一般)
長期穩(wěn)定性: +/-10% /年 (一般)
分析器響應(yīng)時間：< 10ms
探頭響應(yīng)時間：<1min
儀器使用環(huán)境: 溫度：-10℃～60℃; 濕度：10%～90%R（無結(jié)露）
儀器保存環(huán)境: 溫度： 0℃～50℃; 濕度：10%～80%R（無結(jié)露）
電化學(xué)探頭直接采樣: 溫度: 0-40℃; 壓力:<1.1 kgf/cm2
供電: 6V充電蓄電池
連續(xù)使用時間: >24Hr/每次充電; 電池置放時間1周。
便攜式有毒氣體快速檢測儀測試參數(shù)及技術(shù)指標(biāo)：
技術(shù)參數(shù) | 技術(shù) | 說明 |
PH3-4PH:0.05-20ppm SiH4-4SL:0.05-50ppm AsH3-3E1:0.015-1ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC EC EC | 擴(kuò)散式采樣; 半導(dǎo)體車間全毒氣報警, 有一定的區(qū)辯能力. Chlorides對HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有響應(yīng); Fluorides對HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有響應(yīng); Gas200通過標(biāo)定系統(tǒng)甚至可能對H2B6.GeH4,H2Se進(jìn)行定性定量探測. |
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