EDWARDS愛德華iXH6050HT真空泵維修保養

edwards iXH 系列干泵產品是 Edwards 的市場 iH 產品的換代升級，為嚴苛制程能力 樹立了新標準，它在世界上的許多 300mm 半導體和平板 工廠內通過提高制程可靠xing實現低擁有成本。

可滿足 FPD、太陽能、 半導體和 LED 制造業中日益提高的氣體流量要求的大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以確保在嚴苛制程中具有大可靠xing。

Edwards愛德華IXH系列半導體干式真空泵產品型號：

IXH100、 IXH200、 IXH200H、 IXH500H、 IXH500Q 、IXH610、 IXH645H、 IXH1210、 IXH1210H、 IXH1220H、 iXH1220HTX、iXH1820、 iXH1820T、iXH1820H、?iXH6045HT、IXH3030T、IXH3045H、IXH4545HT、,IXH4550、IXH3030,

故障診斷

在維修之前，首先需要進行故障診斷，以確定真空泵的具體問題所在。愛德華iXH6050HT真空泵常見故障包括泵啟動失敗、真空度不足、泵速偏慢、噪音異常、溫度過高以及漏油等。

1. 泵啟動失敗：檢查電源是否正常連接，電機是否有電。使用萬用表測量電源電壓和電機電阻，確保無斷路或短路現象。

2. 真空度不足：檢查真空表讀數，確認是否低于設定值。若讀數正常，則可能是泵體內部存在泄漏。檢查泵體密封件、管路連接處及閥門是否完好。

3. 泵速偏慢：觀察電機轉速，若轉速正常而泵速慢，可能是泵內部機械部件磨損嚴重。需進一步拆解檢查。

4. 噪音異常：噪音增大通常與軸承損壞、齒輪磨損或電機故障有關。通過聽聲辨位，初步判斷噪音來源。

5. 溫度過高：檢查冷卻系統是否正常工作，包括冷卻水流量、溫度等。同時，檢查泵體內部是否有異物堵塞，導致散熱不良。

6. 漏油現象：檢查油封、密封墊等密封部件是否老化或損壞。同時，確認油箱油位是否正常，油質是否清潔。

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