華爾升真空箱式氦質譜檢漏系統

半導體行業氦檢系統

性能介紹：

設備主要用于半導體行業自動測漏，對缸體典軸箱體、油道、水道進行氣密性檢測，并具備對檢測數據進行存健、工件計數、工件識別等功能，包含1臺設備的掃碼、試離、通用液壓站，自動輸送、剔料輥道、儲料系統、安全裝置。

技術指標：

測試量程　　　　 0～500KPa　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

測量精度　　　　1.0×10 Pa·m'/s

測試方式　　　　氦檢　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

檢測節拍 　　　　5s/P

漏率顯示　　　　Pa·m/s、 mbarl/s、atml/s、tor/s、sccm　　　　　　　　

時間設定　　　　999.9秒（最小0.1秒）

掃 　　碼　　　　支持二維碼掃描　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

環境溫度　　　　5～45℃

濕　　度　　　　80 %RH 以下，但不結露　　　　　　　　　　　　　　　　

供電電源 　　　　220V　 50Hz

功 　　率　　　　3KW　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

氣　　源　　　　 0.5～0.7MPa (He和N₂)

電池蓋板爆破呼吸耐壓氣檢測試系統

系統概述：

1.本設備是針對電池防爆閥呼吸測試。設備主要具有以下功能：

2.防爆閥呼吸測試：從外向內(測試壓力、測試時間、測試次數系統可調)；

3.防爆閥呼吸測試：從內向外(測試壓力、測試時間、測試次數系統可調)；

4.供方根據藍本工件尺寸制作一套檢測工裝；

5.測試過程全自動完成。

主要技術參數：

壓力傳感器量程 　　　　0.1-2.0MPa；分辨率：0.01MPa；精度；±0.5%　

比例閥重復精度　　　　 ±1%以下（量程）

比例閱靈敏度　　　　　 ±1%以下（量程）　　　　　　　　　　　　　

比例閥輸出壓力精度 　　±2%以下（量程）

裝　置　電　源　　　　220V， 50Hz， 1KW　　　　　　　　　　　　　

壓　縮　空　 氣　　　　>0.5MPa（氣動元件用）

設　備　重　量　　　　約500kg　　　　　　　　　　　　　　　　　　

設備外形尺寸 　　　　　1300（長）x600（寬）x1500（高）（mm）

散熱器氦檢系統

系統概述：

1.本設備適用對換熱器進行干式撿漏。主要具有以下邊能；

2.對被檢工件保壓檢大漏；

3.對被檢工件抽真空并充注氦氣(0～4MPa，此總圍內可調】；

4.真空箱法氦質譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；

5.不合格工件箱外吸槍尋找漏點功能；

6.沒備預留氣國收接口；

7.人工掃弱功能，能與MES系統相連；

8.管道留接口，以滿足多箱聯動需要；

9.真空箱外配2套工件車(一備一用》；

10.PLC控制，摸屏操作，檢測過程全自動

主要技術參數：

檢測漏率 　<2.2×10^-7Pa·m³/s 　　　真空箱數量 　　　1只　　　　　　

檢測節拍 　5分鐘/件　　　　　　　氦氣壓力 　0～4MPa，在此范圍內壓力可調

每箱可檢測工件數 　　　1個　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

工件進出真空箱方式 　　人工推拉進出真空箱

真空箱開關門方式 　　　垂直提拉式　　　　　　　　　　　　　　　　　

真空箱內腔尺寸及容積　 2500（長）×700（寬）×500（高（單位：mm），約875L

系統技術指標：

氦回收率 　　　　　　　　≥298%　　　　　　　　　　　　　　　　　　

檢漏儀開檢（真空箱內）　壓力≤20Pa

工件抽空壓力 　　　　　　≤000Pa（壓力向上可調）　　　　　　　　　　

設備外形尺寸　　　　　　 4900（長）×4580（寬）×2660（高）（單位：mm）

華爾升真空箱式氦質譜檢漏系統 

充氣環網柜氦檢系統

產品介紹：

主要應用于電力高壓開關柜的泄漏檢測，可配置物料運輸系統，實現自動進出箱，降性人工勞動強度。本設備適用對SF6開關柜/充氣柜/環網柜進行干式檢漏。主要具有以下功能：

1.對被檢工件和真空箱等壓(≤壓差0.05MPa)抽真空，并保壓檢大漏；

2.對被檢工件充注氦氣；

3.真空箱法氦質譜檢微漏、中漏、檢大漏，自動判斷工件漏率合格與不合格；

4.回收并循環使用氦氣；

6.充注SF6氣體；

7.對工件干燥微水處理

8.系統PLC控制，觸摸屏操作，檢測過程全自動。

主要技術參數：

檢測漏率 　　2.4×10^-6Pa·m³/s(0.2%/年，按工件內容積≥300L）　　　　　

檢測節拍 　　≤45min/箱（含SFE充法的間小于3min，接口有效內通徑需滿足不小于φ12mm要求，不含人工時間）

三級檢漏　　檢大漏、檢中漏、微小檢漏　　　　　　　　　　　　　　　　

檢測方式　　檢整體漏率

安全保護 　　光棚保護、電氣互鎖、層級密碼控制、聲光報警　　　　　　

經　濟　性　氦氣回收循環利用、維護成本低(根據當戶需求可加氦氣提純系統)

自動化水平 　PLC控制、觸摸屏操作、自動檢測　　　　　　　　　　　　

汽車零件真空箱氦檢系統

機械系統：

機械系統主要由以下四個單元構成：真空箱單元、充氦氣回收單元，檢漏單元、清氦單元。

主要技術參數：

真空箱數量　　4個(2大2小) 　　　　工件真空　　　　　≦1000Pa（可設）

工件重量　　　≤50（千克）　　　　　真空精檢調真空　　≤20 Pa（可設）

工件漏率　　　1×10^-5mhar·L/s 　　　系統自漏率 　　　　1×10^-8mber·L/s

工作節拍　　　≤45s/箱 　　　　　　　氦氣本底　　　　　 ≤1.0×10^-6mbar-L/s

箱內工件接口數量 1個 　　　　　　　　標準漏孔溫率值 　　1×10^-5mbar-L/s

充氦氣壓力 　　0-1.GMPa（范國內可調）箱門開關方式 　　　自動上下直拉開門

充氮氣壓力　　 0-1.0MPa（范圍內可調） 真空箱及送料 　　　半自動　　　　

氦氣回收率 　　≥95% 　　　　　　　　　設備校準 　　　　可自動操作內置漏孔校準

對工件接口的要求 　快卸工裝夾具，氣缸快壓封堵　　　　　　　　　　　　　

真空箱內腔尺寸： 大:900（左右）x650（前后）x850(上下）mm；小：650（左右）x500（前后）x450(上下)mm

其他功能：

1.設備具有二維碼掃描儲存功能；

2.設備泵組采用德國普發，壓縮機采用美國英格索蘭；

3.對氦氣濃度、壓力進行監控；

4.具有自動清氦功能；

5.設備具有自動監控各部分的運行狀態功能，異常診斷報警，并停止設備運行的功能；

6.電氣系統具有自我檢測、連鎖保護和報警功能，確保系統本身運行安全可靠和被檢工　　　件的安全；

7.有自動、手動兩種操作模式；

8.真空箱門設安全光電保護裝置，確保操作者安全；

9.系統內各部件布置合理，各易損件易于拆卸、更換、方便維修；各滑軌、護板、護欄等設置美觀大方。

汽車零部件氦檢系統

系統概述：

1本設備適用對膨脹閥進行干式檢漏。主要具有以下功能：

對被檢工件充氮氣(2-4MPa，此范圍內可調)進行耐壓和大漏測試；

對被檢工件抽真空井充注氦氣[2-4MPa，此范向內可調)

2真空箱法氦質譜檢測，自動判斷工件需率合格與不合格；

3問收并循環使用氦氣；

4 PLC控制，觸摸屏操作，檢測過程全自動。

設備特點：

檢漏儀：我公司自主研發的檢漏儀，內置漏孔，自動校準，無需人工標定，避免人為操作失誤，導致檢漏儀損壞或檢漏結果不準確，同時檢漏儀每次啟動都進行漏孔自動校準；有效保證檢漏精度；

操作終端；我公司采用工控電腦，運用本公司自行開發的上位機軟件，具有遠程監控，在線監測功能，一些簡單的故障可通過遠程操控解決，為用戶節省更多的售后時間；

在實現觸摸操作的前提下，融入了鼠標和鍵盤操作，避免了單一操作模式的觸摸屏在損壞的情況下不能使設條正常運轉的缺陷；內存遠遠大于平板控制器，有效防止歷史數據的丟失。

制冷管氦檢系統

系統概述：

主要應用于空調冷凝管、蒸發器、壓縮機空調管路等零部件，大部分采用設置多工位、箱外充箱內檢和箱內充氦箱內檢均可以檢漏。

1.本設備適用對上工件進行干式檢漏。主要具有以下功能：

2.對被檢工件進行保壓檢大漏；

3.對被檢工件抽真空并充注氦氣(0-2.0MPa(G)；

4.真空箱法氦質譜檢測，自動判斷工件漏率合格寫不合格；

5.回收并循環使用氦氣；

6.PLC控制，觸摸屏操作，檢測過程全自動。

技術參數：

真空箱數量 　3只　　　　　　　　　　　　每箱檢測工件數 　　4個　　　　　　　　

充氦氣壓力　0-2.0MPa，在此范圍內壓力可調　真空箱開關門方式　斜提拉式，樣式見設備效果圖

檢測漏率　　R134A，2克/年(約1×10^-6Pa·m³/s)　　　　　　　　　　　　　　　　　　

系統檢測節拍：12s/件，檢測時序圖見圖，每箱同時檢測4個工件　　　　　　　　　　　

氦回收率　　≥98% 　　　　　　　　　　　檢測儀開檢（真空箱內）壓力 ≤20Pa　　　　

工件抽空壓力　≤1000Pa（壓力向上可調）　工件進出真空箱方式 人工拿取工件進出真空箱

設備外形尺寸　6450*4000*2905mm（長*寬*高）　　　　　　　　　　　　　　　　　　

真空箱內腔尺寸及容積 1200*80*350mm（長*高*深），約336L