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晶圓加熱裝置

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  果果儀器GoGo Instruments成立于2017年,主要從事測試設(shè)備的開發(fā)、集成和技術(shù)服務(wù),專注冷熱控制技術(shù)相關(guān)的 力學(xué)、電學(xué)、光學(xué) 原位測試,為先進(jìn)材料、半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥、礦業(yè)等領(lǐng)域提供測試整體解決方案。
  作為科研設(shè)備及測試技術(shù)服務(wù)商,公司一直秉承“不斷創(chuàng)新,為科研保駕護(hù)航”的品牌理念,為科學(xué)研究提供前沿、優(yōu)質(zhì)和性價(jià)比的產(chǎn)品、服務(wù)。擁有多學(xué)科的專業(yè)研發(fā)技術(shù)人員,具備豐富的軟、硬件開發(fā)經(jīng)驗(yàn)和開發(fā)能力。果果儀器擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)。專業(yè)的銷售團(tuán)隊(duì)和技術(shù)人員,快速響應(yīng)解答客戶難題 ; 積極、完善的售后服務(wù)讓您無后顧之憂。公司產(chǎn)品已銷售至清華大學(xué)、上海交通大學(xué)、西安交通大學(xué)、中科院、南方科技大學(xué)、華為等一百多所科研院所和企業(yè), 獲得廣泛好評。
  果果儀器GoGo Instruments目前已擁有小型溫控設(shè)備,如探針冷熱臺(tái)、光學(xué)冷熱臺(tái)、半導(dǎo)體冷熱臺(tái)、XRD冷熱臺(tái) 、 SEM冷熱臺(tái)、原位拉伸冷熱臺(tái) 、拉伸機(jī)冷熱臺(tái)、電化學(xué)測試?yán)錈崤_(tái)等;針對樣品變溫測試的環(huán)境箱 ;各種測試系統(tǒng)和解決方案,如介電溫譜/頻譜/阻抗譜測試系統(tǒng)、電介質(zhì)充放電測試系統(tǒng)、電卡測試系統(tǒng)、變溫I-V測試系統(tǒng)、高壓I-V測試系統(tǒng)、熱激勵(lì)去極化電流測試系統(tǒng)、OLED變溫光電測試系統(tǒng)、變溫拉曼測試系統(tǒng)、DIC變溫拉伸測試系統(tǒng)等。果果儀器支持定制開發(fā),定制接口和支架,兼容不同儀器設(shè)備,滿足客戶的特殊需求。




探針冷熱臺(tái),半導(dǎo)體冷熱臺(tái),光學(xué)冷熱臺(tái),XRD原位測試?yán)錈崤_(tái),原位拉伸冷熱臺(tái),拉伸機(jī)冷熱臺(tái),SEM冷熱臺(tái),高低溫試驗(yàn)箱,拉伸試驗(yàn)機(jī)環(huán)境箱,光電力學(xué)測試系統(tǒng)。

應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池,航空航天,電氣

果果儀器 晶圓加熱裝置在半導(dǎo)體制程過程中非常重要,特別是在一些關(guān)鍵工藝中,如晶圓退火、鍵合、勻膠、刻蝕、氣相沉積等,它可以提供穩(wěn)定的溫場環(huán)境及精密的盤面均勻溫度,確保晶圓在各種溫區(qū)中的加熱要求,從而實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件的制造和研發(fā)。

 



 

產(chǎn)品特點(diǎn):


  • 快速升溫

  • 溫度均勻

  • 控溫穩(wěn)定

  • 多溫區(qū)可調(diào)

 


適用領(lǐng)域:半導(dǎo)體、芯片、晶圓等



 

8英寸不銹鋼晶圓鍵合加熱模塊:



晶圓加熱裝置

 

8英寸鋁合金加熱盤:

晶圓加熱盤,RT~400℃,溫度均勻性≤±4℃,盤面平整度≤0.02mm


 

 

8英寸不銹鋼加熱盤:

RT~550℃,真空時(shí)使用



↑ 仿真模擬 ↑


晶圓加熱裝置



↑ 平面度檢測及溫控曲線 ↑



 

 

 



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