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晶圓加熱裝置

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  果果儀器GoGo Instruments成立于2017年,主要從事測試設備的開發、集成和技術服務,專注冷熱控制技術相關的 力學、電學、光學 原位測試,為先進材料、半導體、新能源、生物醫藥、礦業等領域提供測試整體解決方案。
 
  作為科研設備及測試技術服務商,公司一直秉承“不斷創新,為科研保駕護航”的品牌理念,為科學研究提供前沿、優質和性價比的產品、服務。擁有多學科的專業研發技術人員,具備豐富的軟、硬件開發經驗和開發能力。果果儀器擁有自主知識產權的核心技術。專業的銷售團隊和技術人員,快速響應解答客戶難題 ; 積極、完善的售后服務讓您無后顧之憂。公司產品已銷售至清華大學、上海交通大學、西安交通大學、中科院、南方科技大學、華為等一百多所科研院所和企業, 獲得廣泛好評。
  果果儀器GoGo Instruments目前已擁有小型溫控設備,如探針冷熱臺、光學冷熱臺、半導體冷熱臺、XRD冷熱臺 、 SEM冷熱臺、原位拉伸冷熱臺 、拉伸機冷熱臺、電化學測試冷熱臺等;針對樣品變溫測試的環境箱 ;各種測試系統和解決方案,如介電溫譜/頻譜/阻抗譜測試系統、電介質充放電測試系統、電卡測試系統、變溫I-V測試系統、高壓I-V測試系統、熱激勵去極化電流測試系統、OLED變溫光電測試系統、變溫拉曼測試系統、DIC變溫拉伸測試系統等。果果儀器支持定制開發,定制接口和支架,兼容不同儀器設備,滿足客戶的特殊需求。

 

 

探針冷熱臺,半導體冷熱臺,光學冷熱臺,XRD原位測試冷熱臺,原位拉伸冷熱臺,拉伸機冷熱臺,SEM冷熱臺,高低溫試驗箱,拉伸試驗機環境箱,光電力學測試系統。

應用領域 化工,電子,航天,電氣

果果儀器 晶圓加熱裝置在半導體制程過程中非常重要,特別是在一些關鍵工藝中,如晶圓退火、鍵合、勻膠、刻蝕、氣相沉積等,它可以提供穩定的溫場環境及精密的盤面均勻溫度,確保晶圓在各種溫區中的加熱要求,從而實現半導體器件的制造和研發。

 



 

產品特點:


  • 快速升溫

  • 溫度均勻

  • 控溫穩定

  • 多溫區可調

 


適用領域:半導體、芯片、晶圓等



 

8英寸不銹鋼晶圓鍵合加熱模塊:



晶圓加熱裝置

 

8英寸鋁合金加熱盤:

晶圓加熱盤,RT~400℃,溫度均勻性≤±4℃,盤面平整度≤0.02mm


 

 

8英寸不銹鋼加熱盤:

RT~550℃,真空時使用



↑ 仿真模擬 ↑


晶圓加熱裝置



↑ 平面度檢測及溫控曲線 ↑



 

 

 



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