濕法清洗設(shè)備配套用水溶臭氧濃度檢測儀是一款創(chuàng)新的水中臭氧分析儀器，基于不同波長光對臭氧吸收不同的原理設(shè)計(jì)，采用雙光路采樣感應(yīng)技術(shù)及半導(dǎo)體級別接觸材料，實(shí)時(shí)在線檢測臭氧水溶濃度。儀器采用反射測量腔體，數(shù)據(jù)穩(wěn)定準(zhǔn)確、使用壽命長，無論是半導(dǎo)體清洗還是臭氧水的殺菌領(lǐng)域均可使用，應(yīng)用市場廣泛。

應(yīng)用領(lǐng)域

本儀器主要應(yīng)用于超純水系統(tǒng)、制藥業(yè)、半導(dǎo)體濕法清洗及其他工業(yè)處理領(lǐng)域，為水中臭氧濃度儀器的創(chuàng)新開發(fā)。

濕法清洗設(shè)備配套用水溶臭氧濃度檢測儀產(chǎn)品特點(diǎn)
① 無移動部件，直線型設(shè)計(jì)，便于安裝操作；

② 半導(dǎo)體級別接觸材料設(shè)計(jì)；

③ 采用自動控制系統(tǒng)；

④ 維護(hù)周期長；

⑤ 采用雙光路取樣傳感技術(shù)及反射測量腔室，開創(chuàng)了水中臭氧濃度檢測的新技術(shù)；

⑥ 精度高，數(shù)值波動?。?/span>

⑦ 零點(diǎn)穩(wěn)定，可手動校準(zhǔn)修正。

技術(shù)參數(shù)
量    程：0-150mg/L（ppm）
精    度：1.5%F.S
重 復(fù) 性：1%F.S

零 漂 移：1%F.S/月
響應(yīng)時(shí)間：2秒到95%

流    量：0-75L/min

耐    壓：max5.0bar
模擬輸出：4-20mA

串口通訊：RS232，波特率9600bps

電源輸入：24V

接    口：3/4″Flaretek

接液材料：耐臭氧，與半導(dǎo)體制程兼容

吹 掃 口：G1/8

工作溫度：5～40℃

尺    寸：210*60*60mm
重    量：1kg