在化學氣相沉積過程中精確而可靠地測量液位對半導體晶片制造過程而言及其重要。 Measurement Specialties SL-900 系列可提供單個或多個具有很高精度的離散點液位。SL-900 系列超聲系統非常適合高粘度液體，如 DMAH、鈦前驅物和銅前驅物。SL-900系列超聲波微測量系統是半導體工業中超純化學流體檢測和測量的理想解決方案。傳感器通過VCR安裝在容器頂部，用于安裝在液體介質中的單個/多個離散點水平的金屬墊片面密封。電子產品產生一個 連續波超聲波信號，照亮液體傳感區域。傳感區域中液體的缺乏導致超聲波信號的消散，這是電子學意義上的。 作為一種“干燥”狀態。當液體存在時，超聲波信號的振幅增大，電子學認為這是一種“濕”狀態。

優點

• 316 L 不銹鋼加工傳感器主體

• 傳感器材料經電解拋光處理（Ra = 25 µin – 最小值）

• 微型傳感器大小有助于減少液體容量位移

• 無論化學液體的電介質、粘度、顏色、密度和不透明度如何，皆適用于以下化學物質：DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、TEOS、DCE、TCA

• 高達 250 PSIG (1724 kPa) 的高壓容器應用（有關超出此值的高壓應用，請咨詢廠商）

• 每個分離點位的精確度為 ±2 mm

• 典型的 ±1 mm 重復性

• 對于 5/8" 管和 1/2" 管，自容器底部的單點低液位分別低至 1/4" (6mm) 和 5/16"

應用

• 半導體工業

• 制藥業

• 高壓容器

產品類型特性

傳感器類型? Point Liquid Level Sensors

類型? Contact

結構特性

電纜? 24 英寸帶應力消除的屏蔽，9 插針連接器

電氣特征

輸出? 雙色 LED 和 ? A 繼電器

輸入? 可變

使用環境

工組溫度范圍? -30 – 93?°C?[?-22 – 198?°F?]

操作/應用

壓力范圍? 250 psi

工藝連接? 1/2 英寸、3/4 英寸 VCR，公端/母端

啟動點/感應范圍? 可變

機械尺寸(以英寸為單位)