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ET4000A 全自動微形狀測量機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

ET4000A 是小坂研究所推出的一款多功能、全自動的微細(xì)形狀測量機(jī),在平板顯示器(FPD)、晶圓、硬盤等納米尺度的測量領(lǐng)域應(yīng)用廣泛

 

2. 設(shè)備應(yīng)用

半導(dǎo)體行業(yè):用于晶圓表面的形貌、臺階高度、粗糙度等參數(shù)的精確測量,對半導(dǎo)體芯片的制造工藝控制和質(zhì)量檢測至關(guān)重要,比如測量晶圓表面的薄膜厚度、刻蝕深度等。

平板顯示領(lǐng)域:可檢測 FPD 基板的表面平整度、段差、微觀結(jié)構(gòu)等,保障平板顯示器的顯示質(zhì)量和性能,像液晶面板、OLED 面板等的相關(guān)測量。

硬盤制造:能夠測量硬盤盤片的表面粗糙度、磁頭飛行高度等關(guān)鍵參數(shù),對于提高硬盤的存儲密度和讀寫性能有重要意義。

精密加工行業(yè):適用于各種精密機(jī)械零部件的表面形狀、尺寸精度測量,有助于提升產(chǎn)品的加工精度和質(zhì)量控制水平,例如精密模具、微型機(jī)械零件等的測量。

科研領(lǐng)域:為材料科學(xué)、納米技術(shù)等科研項(xiàng)目提供高精度的微觀形狀測量數(shù)據(jù),支持相關(guān)領(lǐng)域的研究和創(chuàng)新,如納米材料的表面特性研究、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的形貌分析等

ET4000A:多功能全自動微形狀測量機(jī)

特點(diǎn):這款測量機(jī)具備多功能性,能夠滿足各種復(fù)雜的測量需求。

應(yīng)用:非常適合需要高精度、多功能測量的應(yīng)用場景,如科研、精密制造等。

 

ET4000L:可處理大尺寸的全自動微形狀測量機(jī)

特點(diǎn):這款測量機(jī)特別設(shè)計(jì)用于處理大尺寸樣品,具有的穩(wěn)定性和精度。

應(yīng)用:非常適合需要測量大尺寸基板、晶圓等的應(yīng)用場景,如平板顯示器制造、半導(dǎo)體行業(yè)等。

 

ET4000M:合理、高性能、通用的微形狀測量機(jī)

特點(diǎn):這款測量機(jī)具有合理的價(jià)格、高性能和通用性,能夠滿足大多數(shù)測量需求。

應(yīng)用:非常適合需要高精度測量但預(yù)算有限的應(yīng)用場景,如質(zhì)量控制、產(chǎn)品研發(fā)等。

 

ET4000系列全自動微形狀測量機(jī)提供了多種型號選擇,以滿足不同應(yīng)用場景和預(yù)算需求。無論您需要測量小尺寸還是大尺寸樣品,高精度還是多功能性,ET4000系列都能提供合適的解決方案

 

 

3. 設(shè)備特點(diǎn)

高精度測量:具備出色的臺階再現(xiàn)性與線性度,保證測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性,例如在測量微小臺階高度時(shí)能精確到納米級別。

超高真直度:確保量測圖形不受干擾,可在真直度保證下進(jìn)行長距離測量,有利于對大型工件或具有長行程特征的樣品進(jìn)行精確測量。

先進(jìn)的檢出器:采用超低噪音直動式 LVDT,超低測定力的觸針可任意調(diào)節(jié),既能滿足不同測量需求,又能避免對被測物體表面造成損傷。

高分辨率定位:配備高分辨率的 CCD,可即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量,有助于快速準(zhǔn)確地找到測量位置,提高測量效率。

多功能性:可對應(yīng)各種國際規(guī)范,測定參數(shù)多達(dá) 60 多種,滿足不同行業(yè)和應(yīng)用場景對測量參數(shù)的多樣化需求。

廣泛的適用性:適用于各種與納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜 / 化學(xué)涂層以及平板顯示等領(lǐng)域,具有很強(qiáng)的通用性。

 

4. 產(chǎn)品參數(shù)(P5551A為例

測定工件

最大工件尺寸:210×210mm 至 300×400mm。

最大工件厚度:50mm。

最大工件重量:2kg。

檢出器(pickup)

z 方向測定范圍:max.100μm。

z 方向分解能:0.1nm。

測定力:0.5μN(yùn) 至 500μN(yùn)。

觸針半徑:0.5μm、2μm。

驅(qū)動方式:直動式。

x 軸(基準(zhǔn)軸)

移動量(最大測長):100mm。

移動的真直度:0.005μm/5mm。

測定速度:0.005~2mm/s。

位置定位時(shí)速度:max.10mm/s。

線性尺(linear scale)分解能:0.01μm。

位置定位再現(xiàn)性:±5μm。

滑軌材質(zhì):在鑄鐵(CD - 5)上鍍上硬質(zhì) Cr,無潤滑(于移動臺側(cè),使用鐵弗龍折動材料)。

驅(qū)動:DC motor + dynamic belt。

y 軸(位置決定用)

移動量:52mm。

移動速度:max.3mm/s。

滑軌:cross roller 滑軌。

驅(qū)動:DC motor + 滾珠螺桿(p = 2mm)。

檢出器自動停止機(jī)能。

工件臺

工件臺尺寸:210mm×210mm。

自動傾斜量:x 為 ±1mm/150mm,y 為 ±1mm/186mm。

分解能:0.25μm。

驅(qū)動:pulse motor。

其他

全自動量測功能。

工件觀察:max.80 倍(可選購其它高倍率 CCD)。

床臺材質(zhì)為花崗巖石。

段差測定再現(xiàn)性:1δ,5a° 以內(nèi)。

防振臺(選購):落地型或桌上型。

電源:AC100V±10%,50/60Hz,800VA。

本體外觀尺寸:W660×D580×H660mm(不含防震臺)。




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