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SC28 單晶爐

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半導(dǎo)體晶圓單晶爐

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

該設(shè)備憑借其緊湊型設(shè)計(jì)、較小的占地面積,以及對(duì)提拉頭的巧妙設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)超高精度的同時(shí),滿足工業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)的特殊要求。可按照客戶要求提供磁場(chǎng)的安裝配套。

 

產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:

 

最大晶棒直徑: 8- 12英寸

晶棒長(zhǎng)度: 長(zhǎng)達(dá)3,600 毫米

裝料容量: 高達(dá)450公斤

熱場(chǎng): 28英寸 / 32英寸

該晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)作為半導(dǎo)體行業(yè)的重要組成部分具有以下特點(diǎn):

精確性:通過精密儀器制造的驅(qū)動(dòng)單元夠?qū)崿F(xiàn)可重復(fù)的工藝控制并生產(chǎn)出最佳品質(zhì)的晶體。

堅(jiān)固性:爐體部件由高質(zhì)量的不銹鋼制成,其內(nèi)表面經(jīng)過高精度拋光,以便達(dá)到耐用性和潔凈等級(jí)方面的最高要求。

安全性:高度的自動(dòng)化和額為增設(shè)的安全系統(tǒng)可以確保在先進(jìn)的生產(chǎn)環(huán)境中使用。

定制化:憑借多年的開發(fā)經(jīng)驗(yàn)、專業(yè)知識(shí)以及提供多種部件更換和組合方式,PVA晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)根據(jù)不同客戶的特定需求提供最佳解決方案。

支持與服務(wù):您可以通過直接聯(lián)系PVA晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)專家進(jìn)行點(diǎn)對(duì)點(diǎn)"的溝通,獲得系統(tǒng)的備件服務(wù)以及系統(tǒng)的調(diào)整和優(yōu)化服務(wù)。

偶然將籽晶意外浸入熔融錫中,無(wú)意間發(fā)現(xiàn)了目前微電子領(lǐng)域中最重要的晶體生長(zhǎng)工藝,該工藝是實(shí)現(xiàn)工業(yè)、科學(xué)和社會(huì)的快速數(shù)字化轉(zhuǎn)型的基礎(chǔ)。柴可拉斯基法(直拉法)以揚(yáng)·柴可拉斯基的名字來命名,該技術(shù)為工業(yè)化生產(chǎn)而開發(fā),目前用于生產(chǎn)直徑達(dá)300毫米、重量為500公斤的硅晶體。為此,當(dāng)溫度達(dá)到大約1410℃時(shí),高純硅作為半導(dǎo)體材料會(huì)在石英坩堝中熔化,并通過控制程序,按照工藝要求將單晶硅錠從熔體中拉出。




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