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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備>BTF-1200C-SL-A 等離子增加化學氣相沉積CVD系統

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BTF-1200C-SL-A 等離子增加化學氣相沉積CVD系統

具體成交價以合同協議為準

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      安徽貝意克設備技術有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設備研發(fā)、生產、銷售與技術服務于一體的高科技企業(yè)。

      公司重視技術攻關和產品研發(fā),建有超卓的產品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍,累計獲得patent200余項。并通過產學研合作,與北京大學南開大學等多所院校建立聯合實驗室及研究生聯合培養(yǎng)基地
      公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產品門類涵蓋了OLED材料提純專用設備系列、碳材料制備設備系列、半導體專用設備系列及金屬納米顆粒設備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關系,市場營銷網絡遍布全球各地。
      連年來,公司相繼被認定為“高新技術企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設備工程技術研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨角獸500強”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項榮譽。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統,PECVD系統, 等離子清洗機,陶瓷材料燒結設備

一、設備簡介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統。本設備集真空系統、供氣流量系統、自動推進、加熱于一體,并將所有控制集成于觸屏操控界面之中,使設備更加智能化,便于使用者操作。溫度范圍寬:100-1200度可調,加熱區(qū)域長度:1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,連續(xù)生長各種薄膜等。


二、技術參數

功率

3KW

額定電壓

AC 220V  50/60HZ

最高溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

空開大小(自備)

2P 40A

爐管尺寸

高純石英管Φ100*1400mm


等離子增加化學氣相沉積CVD系統

最大滑動距離

880mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節(jié),智能化30段可編程控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

質量流量計

兩路500sccm+5000sccm

機械泵

10m3/h

設備凈重

約230Kg






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