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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺>MPS150-SiPh 探針臺

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MPS150-SiPh 探針臺

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

產品概述

入門手動探針臺,用于表面耦合和水平邊緣耦合

FormFactor推出了一種具有成本效益的硅光子學測量解決方案,以支持新興應用的基礎研究工作。該系統的設計是FormFactor多年開發自動光子測量系統的經驗 - 現在根據大學和其他入門用戶的需求量身定制。

MPS150-SiPh 可確保光纖可以精確對準,從而在不發生物理接觸的情況下將光耦合進出設備。MPS150-SiPh 利用其直觀的設計,是經驗不足的用戶發現光子學并獲得高精度測試結果的解決方案。

主要特點

鏡面反射鏡技術

  • DUT 支架可實現高精度水平觀察

  • CalVue 和 DieVue 使用戶能夠調整光學探頭以實現佳測量性能

  • 允許對單根光纖和光纖陣列進行表面耦合和水平邊緣耦合

傾斜底座定位器

  • 在 6 個自由度內手動或自動調整入射角

  • 利用標準光纖支架

光學性能

  • 系統可以配備FormFactor革命性的eVue數字成像系統或高性能SlimVue顯微鏡

  • eVue 的革命性設計在光學分辨率、數字變焦和實時運動視頻之間實現平衡。該系統使導航、觀察和測量設備比以往任何時候都更快、更智能。

  • SlimVue™ 顯微鏡可減輕光子學集成電路 (PIC) 上小焊盤探測所需的高放大光學元件的機械干擾。

  • 該系統使用戶能夠比以往任何時候都更快、更智能地導航、觀察和測量設備  

  • Spectrum 軟件允許用戶測量 z 位移 

模塊化解決方案

  • 如果用戶的測量要求發生變化,可以很容易地更換探針硬件

  • 提供大的測量靈活性:壓板擴展件可配置為執行 3 端口光子學和/或電氣測量

  • 可以配置自動定位器以獲得更快的測量結果。

易用性

  • 符合人體工程學的簡單設計,操作舒適輕松

  • 直觀的操作工作流程使所有經驗水平的測量都盡可能簡單

  • 通過拉出階段快速且符合人體工程學地更換 DUT




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