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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>其它晶圓缺陷檢測設備>CC系列 CT系統

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CC系列 CT系統

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

可選的水冷式 FXT 160.51 X 射線管

檢測人員知道問題所在:長時間的掃描通常會導致圖像失真,并且由于結果不穩定,測試的可重復性受到質疑。這是由管殼和目標物溫度升高引起的效應,這可能導致焦點漂移。新型水冷式X射線管抵消了這種現象。它提供可靠的散熱,即使在長時間的光束后也能確保穩定的焦點和清晰的 X 射線圖像。第一次掃描和無數次掃描一樣,都能獲得可靠的檢測結果,并且可以隨時依賴 X 射線檢測的可重復性。

CC系列亮點

· 可靠、快速、可重復的檢測 - 手動和自動

· 使用 VoidInspect 自動計算空隙

· 易于使用的動態增強濾鏡,例如 eHDR

· 使用 micro3Dslice FF CT 軟件的最佳可用層析成像

· 用于敏感組件的劑量減少套件、劑量監測和低劑量檢測器模式

· 可選的新型水冷 X 射線管,可實現穩定的焦點

· 可選高負載能力 < 20 kg

半導體檢測:在最小電壓下實現最大分辨率

· 電子元件和半導體器件是大多數電子系統的關鍵元件。由于其緊湊性和密度,測試需要在低功耗和低電壓下獲得最大的圖像分辨率。空洞編譯,包括多區域空洞,需要準確、可重復的檢測程序。彗星Yxlon獵豹EVO提供:

· 高靈敏度檢測器,具有可選的低劑量模式

· 通過集成圖像鏈進行高細節識別

· FGUI 的集成式自動缺陷檢測(例如,凸塊中的空隙)





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