GEN2000 分子束外延MBE

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分子束外延 MBE 薄膜沉積

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

1. 產品概述：

GEN2000® MBE 系統提供的吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設備大批量生產以及需要以低擁有成本生產 6 英寸的新興應用的理想選擇。

提供業界低的單片晶圓成本

設計使占地面積比同類 MBE 系統小 40% 至 60%

模塊化架構允許多兩個生長模塊，從而提高產量或允許處理不相容的材料

易于維護，可大限度地延長正常運行時間

可選的隔板安裝優化了潔凈室空間

集成了業界具創新性、可靠的系統硬件、源和組件

GEN2000® MBE 系統提供吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設備大批量生產以及需要以低擁有成本生產 6 英寸的新興應用的理想選擇。