GEN20 分子束外延MBE
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 Veeco
- 型號 GEN20
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 11:26:00
- 訪問次數(shù) 327
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1. 產(chǎn)品概述：
Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設(shè)計(jì)可針對 III-V 族和新興材料進(jìn)行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計(jì)技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)理想的實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠遷移。
材料研究和預(yù)生產(chǎn)環(huán)境的理想選擇
垂直源到基板方向，具有 12 個(gè) MBE 源端口和添加電子束功能的選項(xiàng)
手動或自動晶圓轉(zhuǎn)移選項(xiàng)可配置的低溫板、機(jī)械手、百葉窗和原位監(jiān)測設(shè)備
模塊化設(shè)計(jì)允許多兩個(gè)增長模塊
Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設(shè)計(jì)可針對 III-V 族和新興材料進(jìn)行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計(jì)技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)理想的實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠遷移。
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