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SAM全自動 全自動超聲波掃描顯微鏡

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半導(dǎo)體測量檢測

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

全自動超聲波掃描顯微鏡SAM Autotray 系列:SAM Auto Tray是專門為電子器件、電路板、IGBT和其他復(fù)雜部件的生產(chǎn)控制而開發(fā)的產(chǎn)品系列。該系統(tǒng)符合10級潔凈室標(biāo)準(zhǔn),主要應(yīng)用包括驗證缺陷,如:縫隙、氣泡、孔洞、夾雜物、脫層區(qū)域、焊接或銀燒結(jié)界面的厚度變化等,支持同時檢查多個界面。




全自動超聲波掃描顯微鏡SAM Autowafer 系列:SAM 300 AutoWafer系列是專門為內(nèi)聯(lián)生產(chǎn)控制而開發(fā)的產(chǎn)品系列,符合100/1000級無塵室標(biāo)準(zhǔn),該系統(tǒng)專為檢測晶圓界面、晶圓鍵合、 MEMS 產(chǎn)品、或者混合粘合應(yīng)用而設(shè)計,可用于檢測空洞、夾雜物或分層或微空隙。多傳感器配置可使得晶圓檢測通過率




全自動超聲波掃描顯微鏡SAM 大視場掃描系統(tǒng):SAM大視場系列是專門為分析DCBs或電源模塊而開發(fā)的產(chǎn)品系列,可支持檢測掃描范圍為300µm x 300µm1300mm x 1300mm。多至8個傳感器可實現(xiàn)超高檢測通過率。該系統(tǒng)包括自動缺陷審查軟件、GEM/SECS通訊,以及MES通訊。激光打標(biāo)站和分類輸出端口可供選擇。








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