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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>光學薄膜測量設備>SENTECH SENDIRA 薄膜計量紅外光譜橢圓儀

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SENTECH SENDIRA 薄膜計量紅外光譜橢圓儀

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述

SENTECH SENDIRA 為紅外 (FTIR) 而設計。這款緊湊的臺式儀器包括吹掃橢偏儀光學元件、計算機控制的測角儀、水平樣品平臺、自動準直望遠鏡、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 檢測器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 (1.7 μm – 25 μm) 的光譜范圍內提供出色的精度和高分辨率。

2. 主要功能與優勢

測量靈活性

SENTECH SENDIRA 橢圓偏振光譜儀可測量散裝材料、單層和多層堆疊的薄膜厚度、折射率、消光系數和相關特性。該工具可用于覆蓋在可見范圍內不透明的層下方的層,使其可用于測量。可以分析材料的組成以及較大分子基團和鏈的取向。

橢圓振動光譜

利用紅外光譜中分子振動模式的吸收帶分析了薄層的組成。此外,載流子濃度可以用這種FTIR光譜橢偏儀測量。

適用的傅里葉變換紅外

對于 Thermo Fisher Scientific 光譜儀的商用 FTIR iS50,安裝了紅外橢偏儀光學元件。它也可用于一般振動光譜法。

精確的測量和準確的結果

SENTECH SENDIRA注于薄層的振動光譜分析。應用范圍從介電薄膜、TCO 和半導體到有機層。SENDIRA 由 SpectraRay/4 軟件操作。另外還提供FTIR軟件。



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