1. 產品概述

SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 橢圓偏振法分別測量高達 2,500 nm 或 3,500 nm 的近紅外光譜。它提供寬的光譜范圍、佳的信噪比和高的可選光譜分辨率。可以測量厚度達 200 μm 的硅膜。FTIR橢圓偏振儀的測量速度與二管陣列配置相比，二管陣列配置也可選擇高達1,700 nm。

2. 主要功能與優勢

寬的光譜范圍和高的光譜分辨率

SENTECH SENresearch 4.0 橢圓偏振光譜儀覆蓋從 190 nm（深紫外）到 3,500 nm（NIR）的寬光譜范圍。該器件具有高光譜分辨率，可使用 FTIR 橢圓偏振法分析厚度達 200 μm 的厚膜。

無運動部件，符合 SSA 原理

在數據采集過程中沒有移動的光學部件，以獲得佳測量結果。步進掃描分析儀 （SSA） 原理是 SENresearch 4.0 光譜橢偏儀的一個功能。

通過創新的 2C 設計實現全 Mueller 矩陣

通過創新的 2C 設計擴展了 SSA 原理，可以測量完整的 Mueller 矩陣。2C 設計是一種可現場升且經濟高效的配件。

3. 靈活性和模塊化

電動金字塔測角儀的角度范圍為 20 度至 100 度。光學編碼器確保了高精度和角度設置的長期穩定性。光譜橢圓儀臂可以獨立移動，以進行散射測量和角度分辨透射測量。

該工具根據步進掃描分析儀 （SSA） 原理運行。SSA將強度測量與機械運動分離，從而可以分析粗糙的樣品。在數據采集過程中，所有光學部件都處于靜止狀態。此外，SENTECH SENresearch 4.0 包括用于映射和原位應用的快速測量模式。

SENresearch 4.0 的定制橢圓儀可以針對標準和高應用進行配置。例如介電層堆棧、紋理表面以及光學和結構 （3D） 各向異性樣品。為各種應用提供了預定義的配方。