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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>勻膠機>IC8000-S 控溫型勻膠機

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IC8000-S 控溫型勻膠機

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勻膠機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1.產品特點

控溫系統:

采用了先進的控溫技術,轉盤加熱控溫范圍可達室溫至200℃,溫度分辨率高達0.1℃,控溫精度小于±0.5℃(穩定后控溫精度)。

轉盤溫度均勻性小于±2%,確保加熱過程中溫度分布均勻。

運動控制系統:

配合精密的運動控制系統,轉速范圍可達100-8000rpm,轉速分辨率±1rpm。

加速度可調范圍100-5000rpm/s,大單步旋涂時長可達3000s,時間分辨率0.1s。

操作界面:

操作界面友好,可存貯多達100組程序,每組程序可達100步,方便用戶進行復雜的實驗設置。

運行參數如轉速、轉動時間等可實時顯示,便于用戶監控實驗過程。

結構設計:

采用HDPE高分子內腔、PC透明蓋和鈑金外殼,具有可靠的隔熱設計,確保設備電機及元件安全。

安全電壓發熱部件,確保操作安全可靠。

可擴展性:

可升添加一路精準計量自動點膠功能,滿足更多實驗需求。

2.產品參數

參數名稱參數值
型號IC8000-S
產地中國·江蘇江陰
加熱控溫范圍室溫-200℃
溫度分辨率0.1℃
控溫精度<±0.5℃(穩定后)
轉盤溫度均勻性<±2%
轉速范圍100-8000rpm
轉速分辨率±1rpm
加速度可調范圍100-5000rpm/s
大單步旋涂時長3000s
時間分辨率0.1s
多步程序設置100組100步程序
標配載物盤可調卡爪載物盤(10-30mm方片或圓片可調),其他規格可定制
外型尺寸264mm(W)410mm(D)280mm(H)
重量約15Kg
電源輸入100-120V, 單相, 550W(110V型);200-230V, 單相, 550W(220V型)

3.設備用途

IC8000-S控溫型勻膠機廣泛應用于微電子、半導體、光電子、生物醫學等域,特別適用于需要高精度、高均勻度勻膠操作的實驗和研究。







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