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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>勻膠機>AC200-SE標準型 程控伺服勻膠機

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AC200-SE標準型 程控伺服勻膠機

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勻膠機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1.產品特點

高精度伺服電機驅動:采用高精度伺服電機,確保旋轉過程穩定可靠,轉速精度高達±1rpm,滿足高精度實驗需求。

高重復性:設備設計合理,工藝優良,能夠保證多次實驗結果的高重復性,提升實驗數據的可靠性。

工業設計:采用PLC控制,7寸全彩觸屏操作,界面友好,操作簡便。同時,設備整體設計符合工業標準,耐用可靠。

多功能性:可嵌入式安裝在手套箱內,降低操作高度使用。可添加背部清洗和去邊膠功能,滿足工業應用。此外,還可添加防濺罩式清洗和顯影功能,滿足定制需要。

廣泛兼容性:可處理基片尺寸范圍廣泛,從小于1cm的碎片到8寸圓形底物均可適用。標配多種直徑規格真空載物盤,滿足不同實驗需求。

2.產品參數

參數名稱參數值
型號AC200-SE
品牌雷博
產地中國·江蘇
大處理尺寸8寸(200mm)
轉速范圍20-10000rpm
轉速精度±1rpm
加速度可調范圍10-50000rpm/s(空載)
單步時長3000s
時間分辨率0.1s
多步程序設置100組100步
自動點膠口4只
旋轉電機伺服電機
真空及開蓋互鎖
人機界面7寸觸屏
內腔材料HDPE
外殼材料拉絲不銹鋼
排廢口
抽風口
載物盤形式插拔式
外形尺寸306mm(W) x 434mm(D) x 306mm(H)

3.應用域

AC200-SE標準型程控伺服勻膠機廣泛應用于醫療衛生、化工、生物產業、電子、制藥等域。其高精度、高重復性和多功能的特點,使其成為科研和生產中的重要設備




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