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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>干法工藝設備>干法清洗設備>UC100-SE 紫外臭氧清洗機

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UC100-SE 紫外臭氧清洗機

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紫外臭氧清洗

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1.基本參數

品牌與型號:LEBO/雷博,UC100-SE

產地:中國江蘇江陰

額定電壓:AC220V,50Hz

燈管功率:多為300W,也有資料提及為275W(具體以實際產品為準)

燈管壽命:≥8000小時

燈管形狀:U型或G型(不同來源信息可能略有差異)

燈管光譜:185nm+254nm或184nm+254nm(不同來源信息可能略有差異)

清洗面積:≤8寸

外型尺寸:大致為330mm(W)×400~420mm(D)×315mm(H)(不同來源信息可能略有差異)

產品重量:約為15~16kg

2.功能與特性

高效清洗:通過VUV低壓紫外汞燈發射的185nm和254nm波長的紫外光,直接打開和切斷有機物分子中的共價鍵,使其活化并分解成離子、游離態原子等,同時生成臭氧和活性氧原子,通過氧化反應清除粘附在物體表面上的有機污染物。

集成控制系統:設備采用集成式的嵌入式控制系統,帶有LCD點陣液晶顯示屏和數字化操作界面,用戶操作更加簡單直觀。

高度調節與誤觸保護:基片照射高度可無化調節或采用X型調節裝置,確保高度調節更加平穩。同時,系統自帶誤觸功能,降低操作失誤幾率。

風量調速:進風及抽風風扇采用5調速,可根據需要調節風量,確保清洗效果。

人體工程學設計:設備設計符合人體工程學原理,實驗操作易上手,使用便捷。

3.應用域

UC100-SE紫外臭氧清洗機廣泛應用于多個域,包括但不限于:

LCD、OLED生產:在涂光刻膠、PI膠、定向膜、鉻膜、色膜進行光清洗,提高基體表面潤濕性和粘合力。

半導體生產:硅晶片涂保護膜、鋁蒸發膜進行光清洗,提高粘合力,防止針孔、裂縫的發生。

掃描探測顯微鏡:用于清洗原子力顯微鏡探針、掃描探針顯微鏡標準和其他表面上的油漬層和殘留的無機材料。





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