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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>晶圓缺陷光學檢測設備>Cougar EVO 緊透尺寸檢測系統

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Cougar EVO 緊透尺寸檢測系統

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

Cougar EVO 亮點:

  • 可靠、快速和可重復的手動和自動檢測

  • 基于VoidInspect的自動氣泡計算

  • 易于使用的動態增強過濾功能,例如eHDR

  • 使用micro3Dslice和FF CT軟件的最佳層析成像技術

  • 針對敏感器件的劑量降低套件和低劑量檢測模式

  • 市面上的超低占地面積

Cougar EVO

產品系列: CC 系列

應用行業: 汽車制造, 微電子, 航空航天, 科研開發, 半導體

缺陷尺寸:<1µm 缺陷, <50µm 缺陷, <1mm>1mm 缺陷

樣品尺寸: 小型

運行模式: 2D, 3D, 2D/3D

檢測能力優異占地面積僅1平方米.

緊湊的尺寸,讓Cougar EVO一躍成為SMT、半導體行業和實驗室X射線檢測的理想之選。該解決方案專為空間有限的設施設計,集精巧尺寸和性能于一身。輕盈的重量讓Cougar EVO輕松適用于許多標準建筑樓層。此外,Cougar EVO的尺寸和重量使得該系統可以輕松快速地運送到現場。在許多情況下,可使用現有的電梯進行運輸。


優化的自動化X射線和CT質量檢測

Cougar EVO通過FGUI操作軟件中的集成工作流程響應了更高的自動化操作需求。Comet Yxlon FF CT軟件專為自動啟動設計,以實現更快的重建和可視化。它具有的能力,可以通過預設的傳遞函數(TF)選擇來渲染3D電影式圖像,由軟件生成當今最真實、最生動的可視化效果。

SMT 檢測: 用于小型電子設備的性能

由于電子元件的不斷小型化,必須在更小的空間內集成越來越多的組件。為獲得盡可能準確和可重復的質量檢測結果,測試系統不僅必須具有高性能和高分辨率,而且還需要配備動態圖像增強過濾器。Comet Yxlon Cougar EVO 具有以下特點:

更大的平板探測器尺寸:視野范圍擴大了50%,由于減少了自動化流程中的步驟,可以提供更好的概覽和更快的工作流程。

micro3Dslice最佳層析成像技術:具有詳細的三維可視化功能,可快速、輕松地進行失效分析,相比于顯微切片可節省大量成本。

VoidInspect自動氣泡計算:基于層析成像技術的檢測工作流程,能夠快速無損地分析電路板組件焊點內的氣泡。

產線集成: ProLoop(下方視頻鏈接)允許與在線AOI/AXI檢測系統直接通信。

半導體檢測: 最小電壓下的最高分辨率

電子元件和半導體器件是大多數電子系統的關鍵元件。緊湊尺寸和高密度,使其檢測過程需要在低功率和低電壓下實現盡可能高的圖像分辨率。氣泡計算(包括多區域氣泡)需要準確、可重復的檢測程序。Comet Yxlon Cougar EVO特性:

  • 高靈敏度探測器,可選低劑量模式

  • 通過集成圖像鏈實現高細節識別

  • FGUI中集成的自動錯誤檢測(凸起、氣泡)








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