Pishow® D 系列 8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕設(shè)備

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產(chǎn)品標簽

深硅刻蝕

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕（ICP-DSE）設(shè)備

1. 詳細介紹

Pishow® D 系列深刻蝕設(shè)備，是針對8英寸~6英寸產(chǎn)線或科研深硅刻蝕工藝的用設(shè)備，擁有自主開發(fā)的優(yōu)化設(shè)計，保證了優(yōu)異的刻蝕精度控制和損傷控制。
提供Si Bosch工藝的解決方案。

該設(shè)備高性價比的解決方案和優(yōu)秀的空間利用率，可幫助不同客戶實現(xiàn)產(chǎn)能升。

2. 系統(tǒng)特性

Pishow® D 系列是采用深硅刻蝕技術(shù)的電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備

提供Bosch解決方案，實現(xiàn)對Si的高深寬比刻蝕

優(yōu)化的氣柜設(shè)計，縮短進氣距離，短工藝切換時間小于1.0

Pishow® D 系列可選擇8~4英寸晶圓，提供單腔式和多腔式等多種腔室搭配方式