一、市場背景

【光伏電池行業】三氯氫硅（TCS）又稱三氯硅烷、硅氯仿，是鹵硅烷系列化合物中最重要的一種產品，沸點為31.8℃、極易水解、冒白煙、有鹽酸氣味、有毒，三氯氫硅氣體與氧氣或空氣的混合物極易燃燒，遇濕易燃物品，遇明火強烈燃燒，與氧化劑發生反應，有燃燒危險。極易揮發，在空氣中發煙，遇水或水蒸氣能產生熱和有毒的腐蝕性煙霧。

電子級TCS：電子級TCS是純度高的三氯氫硅，通常用于制造高效率的光伏電池。它的雜質含量非常低，可以提供良好的電子傳輸性能；太陽級TCS：太陽級TCS也是用于制造光伏電池的材料，但其純度要低于電子級TCS。太陽級TCS可以通過化學氣相沉積（CVD）等工藝生產，用于大規模制造光伏電池；工業級TCS：工業級TCS是用于其他工業應用的TCS，不一定具備高純度要求。工業級TCS通常用于制造硅橡膠、硅密封材料等。

二、市場現狀

樣品氮封后放進自動液體進樣器樣品盤上，進樣針在抽取樣品時由于針內含有空氣，進樣針內的樣品易發生自燃，破壞樣品，分析結果不準確。

三、解決方案：

產品名稱：色譜氣體保護儀

產品型號： P-5

惰性氣體：小分子量惰性氣體，優選氦氣

四、原理：

1、設計一個樣品空氣隔離罩將自動液體進樣器籠罩于其內，開口在底部，從上端往隔離罩內連續輸入氦氣，置換掉隔離罩內的空氣，氦氣密度小，氦氣優先充滿頂部空間，可以驅趕空氣從底部排出，隔離罩內充滿氦氣，樣品和進樣針內外周圍環境中的氧氣濃度低于安全值后，確保了樣品不會自燃；

2、氦氣經過流量控制系統進入隔離罩內，先選擇充氣通道，氦氣大流量進入隔離罩內，當空氣全部被置換掉后，再切換到補氣通道，維持小流量氦氣，流量可調；

3、隔離罩底部樣品位置安裝高精度測氧儀，實時監控隔離罩內的氧氣濃度，低于安全值時再進樣；

4、流量控制器中氦氣開關閥可以通過色譜軟件控制，運行完樣品，自動關閉氦氣，節省氦氣。

五、方案優勢：

1、雙通道自由切換，充氣通道，流量大，置換快，1min即可完成置換，補氣通道，流量小，節省氣；

2、通過色譜儀控制氦氣氣源的電磁閥開關，進完樣品可以自動關閉，運行下一個樣品前自動打開氦氣，節省氦氣；

3、看得見的氧氣，氧氣濃度可以實時顯示，低于安全值時再進樣，確保不會自燃；

4、配備高精密度測氧儀，帶存儲卡，歷史數據可以追蹤；

5、采用扁平化設計，桌面占用少。

擴展：該方案同樣適用于 雙（二乙基氨基）硅烷(BDEAS) 的色譜分析