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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>組裝與封裝設備>減薄機>TFG-3200 全自動減薄機

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TFG-3200 全自動減薄機

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減薄機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1 產品概述:

全自動減薄機是一種用于信息科學與系統科學、材料科學領域的工藝試驗儀器,尤其在半導體制造過程中扮演著至關重要的角色。它采用先進的技術和設計,能夠高效、精準地將晶圓或其他材料的厚度減薄到范圍內,為后續的制造工序提供高質量的基材。

2 設備用途:

全自動減薄機主要用于半導體制造、微電子、光學制造等領域。具體而言,其主要用途包括:

1、 晶圓減薄:在半導體制造過程中,將晶圓厚度減薄至特定尺寸,以滿足芯片封裝和性能要求。減薄后的晶圓更有利于后續的封裝工藝,同時能提高芯片的散熱效果。

2、 材料加工:除了晶圓外,全自動減薄機還可用于硅片、光學材料等厚材料的加工,通過調整工作參數實現不同厚度和形狀的加工,提高材料的加工質量和效率。

3. 設備特點

全自動減薄機具有多個顯著特點,這些特點共同構成了其高效、精準和可靠的性能:

      1、高精度控制:采用先進的位置傳感器和伺服系統,確保在減薄過程中能夠精確控制晶圓或其他材料的位置和厚度。這種高精度控制有助于減少加工誤差,提高產品質量。

      2、超高速研磨:配備超高速研磨系統,能夠實現快速磨削和精確厚度控制。這不僅提高了生產效率,還確保了加工過程的穩定性和一致性。

      3、智能化操作:配備智能操作系統,支持自動化操作,降低了對人工操作的依賴。用戶可以通過預設程序或界面進行參數設置和監控,實現高效、便捷的加工過程。

      4、環保工藝:采用環保工藝和材料,減少有害物質排放,確保生產過程的安全和環保。這符合現代制造業對可持續發展的要求。

綜上所述,全自動減薄機以其高精度控制、超高速研磨、智能化操作、環保工藝、多功能性和高穩定性等特點,在半導體制造和其他材料加工領域發揮著重要作用。

4  設備參數:

項目

TFG-3200

大晶圓尺寸

8 英寸

砂輪規格

?303(OD)mm

砂輪軸數量

2

砂輪軸功率

9.5kW

砂輪軸轉速范圍

0~4000 RPM

工作臺轉速

0~300 RPM

工作臺移動方式

Index轉位式

Z軸進給速度

0.1~1000 um /sec

厚度在線測量方式

IPG,實時測厚

厚度在線測量范圍(IPG

0-1800um

NCG非接觸實時測厚系統

可選配





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