三維表面輪廓儀
- 公司名稱 巨力光電(北京)科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/8/7 14:34:17
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
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多功能 3D光學/三維表面輪廓儀( OPTELICS HYBRID+,三維光學共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡/三維表面輪廓儀 ),高度方向測量精度達0.05nm;系統整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術;以雙共聚焦光學系統為基礎,集6項測試功能于一體,包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉顯微鏡、垂直白光干涉顯微鏡、相差干涉顯微鏡、反射分光膜厚測量等功能;通常多臺設備才能完成的測量,僅需一臺設備即可實現,解決了需要使用多種工具的麻煩,滿足在各種測量場景中的測試需求。
提供6個測試功能模塊,應對多樣測量需求
滿足行業測試規格要求,High精度
提供多種測量和分析
自動化測量技術,高效測量
適用于滿足多樣場景測試需求
3D 光學表面輪廓儀( 三維光學共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡) 一個平臺提供6種測試功能:
1. 白光共聚焦
寬視野+High精度測量
高清彩色觀察
2. 激光共聚焦
高倍·High 分辨率觀察
搭載波長405nm的紫色半導體激光,無需前處理,以可媲美電子顯微鏡的High分辨率,鮮明捕捉納米級細微構造。
3. 微分干涉測量
納米級凹凸觀察
共聚焦與微分干涉(DIC)相結合,實現細微凹凸形狀的可視化。由于焦點深度極低,對于透明樣品可以排除其背面的影響僅對表面進行觀察。
4. 垂直白光干涉測量
數毫米寬廣視野內的納米級形狀測量
白光通過雙光束干涉鏡產生的干涉波形,通過垂直方向掃描找到干涉光強度高點,得到樣品的高度分布數據。原理上,高度分辨率不受物鏡放大倍數影響,因此可使用低倍鏡快速完成寬視野范圍測量。
5. 反射分光膜厚測量
納米級透明膜厚測量
利用波長切換功能對6個波長的絕對反射率進行測量,光學建模計算得到膜厚。數nm~1μm的單層/多層膜厚可測量。測量區域在共聚焦觀察圖像上定義,亞微米區域~全視野的數mm區域的平均膜厚均可測量。而且因各個像素(pixel)的膜厚能夠計測,所以可以測量膜厚分布。
6. 相差干涉測量
埃米級形狀測量
白光通過雙光束干涉鏡產生的干涉條紋,與從樣品反射回的反射光的光程差直接相關。在垂直方向細微移動得到4組干涉圖像,通過解析實現高分辨率的高度分布測量。
多種波長切換
測量速度快
3D 形貌測量共聚焦顯微鏡(HYBRID)實現了業界快速幀率(15Hz~120Hz)掃描,實現圖像拼接、自動測量、自動缺陷檢測和快速測量。
High精度測量
三維形貌測量共聚焦顯微鏡(HYBRID)高度方向測量精度達0.05nm。
提供各種測量,分析和支持功能,具有可用性
LM eye是HYBRID的測量和分析軟件,提供多種功能,幫助您順利操作
測量和分析功能
可以測量和分析參數,包括輪廓,粗糙度和薄膜厚度
測量支持功能
HYBRID提供各種測量、分析
自動化操作,效率更高
LIBRA
LIBRA 是一個軟件程序,它使用定義的平臺執行自動測量。
LM 檢測
LM Inspect 是一個軟件程序,可以自動檢測基材上的小顆粒和缺陷。并且支持使用缺陷審查和深度學習進行高精度缺陷分類。
其他型號: