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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>涂膠顯影設備>KS-C300 12寸 集束型涂膠顯影機

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KS-C300 12寸 集束型涂膠顯影機

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涂膠顯影

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述

KS-C300涂膠顯影機是一款高效能的設備,廣泛應用于封裝、MEMS(微電機械系統)、OLED(有機發光二極管)等領域的涂覆和顯影制程。該設備的設計理念強調高產能與靈活性,每小時可以加工高達180片晶圓,極大地提高了生產效率。這一特性對于滿足快速變動的市場需求,尤其是在高科技產業中無疑具有重要意義。

KS-C300不僅具備處理能力,還有出色的兼容性,能夠適應不同材質的晶圓,包括硅晶片、玻璃片、鍵合片以及各種化合物材料。這樣的多樣化選擇使得設備能夠被廣泛應用于多種芯片制造領域,包括邏輯類和存儲類芯片、攝像頭芯片以及功率器件芯片等。

此外,KS-C300的國產化集成電路設備的成功應用,為客戶提供了一個顯著的成本優勢。通過國產設備的引入,客戶不僅能夠節省大量的采購及維護成本,還能加快設備的調試與服務響應,縮短產品上市時間。這一系列優點使得KS-C300在行業內受到廣泛認可與青睞。

該設備還通過了嚴格的SEMI S2認證,進一步證明了其在安全性、可靠性及高性能等方面的表現。SEMI S2認證是半導體設備行業的重要標準,確保設備在生產過程中符合國際安全及環境保護要求,為客戶提供了額外的信心。總體來看,KS-C300涂膠顯影機憑借其高效的生產能力、多樣化的兼容性以及可靠的安全標準,成為先進半導體制造工藝中的設備之一。

2. 產品優勢:

適合超薄晶圓處理,超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝
涂膠單元特殊設計,避免高黏度膠離心涂敷時產生的“棉花糖"現象
機臺為全封閉模塊化結構,工藝單元靈活選配
占地面積小,產能高

工藝上可實現5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工,熱板采用漸進式烘焙
可滿足工廠自動化需求,無人值守

3. 應用域:

封裝
MEMS
OLED





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