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KS-S150 星型全自動涂膠顯影機

具體成交價以合同協議為準

公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
品牌芯源
型號 KS-S150
產地
廠商性質 經銷商
更新時間 2024/9/4 17:31:57
訪問次數 437

產品標簽

涂膠顯影

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

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1.產品概述：

KS-S150星型全自動涂膠顯影機是由沈陽芯源微電子設備股份有限公司研發的勻膠顯影設備，用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導體的涂膠顯影等制程。可兼容藍寶石、砷化鎵和碳化硅等材質的晶圓，產品涉及多個應用域，涂膠機產能大于190片/小時。設備通過了CSA認證。

2.應用領域：

傳感器芯片制造

光通信芯片制造

功率芯片制造

LED芯片制造

圖形化襯底制造

化合物半導體域

3.產品優勢：

1.占地小、穩定性高、操作與維護方便；

2.產能高，涂膠機產能大于190片/小時；

3.光刻膠用量小，4寸用量0.6ml；

4.優異的流場設計，涂膠均勻性好。

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