1.產品概述：
KS-FT200/300系列堆疊式高產能道涂膠顯影機，為我司自主研發的突破晶圓道28nm工藝節點及以上工藝制程，適用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多種材料涂覆顯影工藝的機臺。支持與光刻機聯機作業。該系列機臺通過各種行業認證，占地面積小、可靠性高、易于維護，滿足各種功能芯片制程需求。

2.產品優勢：

1. 堆疊式高產能架構，占地面積小

2. 可與光刻機聯機，滿足工廠自動化需求

3. 配備多段回吸的多腔體共用供膠系統，有效節省光刻膠的用量

4. 選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件，滿足更高標準工藝需求

5. 核心單元模塊化設計，組合方式靈活多變，大限度客制化

3.應用域：

● 邏輯電路

● CMOS射頻電路

● 功率器件

● MEMS系統芯片

● 閃存內存                                    

● CIS

● 驅動芯片

● OLED等