AIX G5 WW C 化合物半導體沉積系統
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 愛思強
- 型號 AIX G5 WW C
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/8/13 11:12:18
- 訪問次數 198
產品標簽
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主要優點
吞吐量和每片晶圓擁有成本
批量配置中的單片性能，可實現出色的外延層質量
兼容硅晶圓廠的自動化技術支持碳化硅電源市場加速增長
產品特點
帶熱晶圓轉移的行星式反應器
在生長室中高效利用氣體
晶圓級溫度控制
晶圓盒到晶圓盒處理
快速外延處理
8x150 mm 配置，單晶圓旋轉
AutoSat功能，確保批次內的均勻性
SECS-GEM工廠接
主要優點
吞吐量和每片晶圓擁有成本
批量配置中的單片性能，可實現出色的外延層質量
兼容硅晶圓廠的自動化技術支持碳化硅電源市場加速增長
產品特點
帶熱晶圓轉移的行星式反應器
在生長室中高效利用氣體
晶圓級溫度控制
晶圓盒到晶圓盒處理
快速外延處理
8x150 mm 配置，單晶圓旋轉
AutoSat功能，確保批次內的均勻性
SECS-GEM工廠接口
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