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MPO 100 雙光子聚合直寫光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產品概述:

MPO 100,這是海德堡儀器先進的多用戶工具,為復雜微結構的 3D 光刻和 3D 顯微打印而設計。MPO 100 利用先進的雙光子聚合(TPP),在微光學、光子學、微力學和生物醫(yī)學工程域的應用中表現(xiàn)出色。這種多功能平臺提供的精度和吞吐量,能夠在一個高效的工藝步驟中生產出復雜的功能性微結構。

2.設備用途

微光學:無需拼接即可創(chuàng)建高精度微光學元件,確保無縫集成。

光子學:將光子器件直接寫入基板上,從而優(yōu)化器件性能和集成度。

細 觀 力學:生產具有高精度和可靠性的復雜微機械結構。

生物醫(yī)學工程:制造針對特定應用量身定制的復雜生物醫(yī)學設備和支架。

量子器件:開發(fā)高精度和定制化的先進量子器件,用于沿研究和應用。

3.特色參數

高精度和高吞吐量:以低至 100 nm 的小特征尺寸實現(xiàn)的精度。受益于掃描速度超過 1000 mm/s 的高速 3D 打印以及體素調優(yōu)。

多種材料兼容性:利用 522 nm 的強大飛激光系統(tǒng)高效處理各種聚合物。利用經過行業(yè)驗證的ORMOCER®雜化聚合物,具有好的光學、機械和化學性能。

免拼接微光學元件:通過無限視場 (IFoV) 制造模式,無需拼接即可創(chuàng)建精確的微光學元件。

模塊化3D打印平臺:在 3D 光刻和 3D 顯微打印之間無縫切換,具有特定于應用的寫入模式和基板支架。制造高度超過 1 cm 的宏觀結構和表面粗糙度低至 10 nm 的微觀結構。

體素調優(yōu)功能:在掃描過程中對體素尺寸進行微調,以減少所需的層數。






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