MKP高精度氣體流量控制器

MKP高精度氣體流量控制器

吳經理： 135.3421,8343

介紹：

MKP產品廣泛應用于各種科研實驗、工業設備、以及高精密儀器中，因其可以配備多種通訊模式、高準確度、精度以及重復性，以及簡單的安裝方式和良好的可操控性等諸多優勢。例如，在石油化工、半導體和集成電路、特種材料學科，環保和真空等多種領域中，氣體質量流量控制器都有著重要的應用。?

韓國MKP于2012年在國內shou次成功開發并生產半導體工程用MFC,成長為半導體及顯示器工程裝備的核心零部件企業。不僅如此，通過像燃料電池，天然氣產業，等離子體主要產業工程供應MFC,隨著

韓國產業的發展，正在持續增長。

產品特點：

因適用PTFE DISK，整個區間的回應時間快

對毒性和腐蝕性氣體的耐久性大幅增加

采用浪涌及耐電壓保護電路

通過溫度補正，在周圍溫度變化下也可維持準確度

MKP新型號：

數字質量流量控制器：

VIC-S220，VIC-W220

TSM-L100系列:

TSM-L120,TSM-L130

MPR-Z300

EXO-100防爆流量控制器：

EXO-110，EXO-120，EXO-U145，EXO-U150

小流量MFC流量控制器VIC-S220，VIC-W220

產品參數

流量范圍(N2 標準)：50~200slm

流量控制范圍：滿量程的2 ~ 100

準確度：滿量程的≤ ± 1%

回應時間：≤ 1.0 sec (10 ~ 100)

線性：滿量程的≤ ± 0.2%

運轉原理；熱式

控制閥形式：Normally Closed Solenoid

密封種類:Elastomer (Viton, Viton-ETP , Kalrez, etc.)

輸入輸出信號：模擬性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA

數字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)

電源供應：+15VDC ~ +24VDC

運轉溫度；5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃)

連接器；Standard : D-SUB 9 pin Male