日本ARIOS超小型旋轉導入機超高真空領域用 RFT系列 特點介紹

這是將旋轉運動從大氣側傳遞至真空的部件。這稱為旋轉引入機。

旋轉引入機主要有三種類型：用 O 形圈密封軸的類型、使用波紋管的類型以及使用磁力耦合器的類型。

該機采用磁力耦合，該類型的優點是可以在超高真空中使用，并且壽命長。

該機器的另一個特點是，由于采用強稀土磁體的磁力耦合結構，因此可以連續高速旋轉。滑動部件是軸承，只需更換即可半性使用。

由于耦合是通過磁力完成的，如果施加大扭矩，可能會發生同步丟失。雖然這是一個缺點，但它也可以用來保護移動側免受過大扭矩的影響。

緊湊的設計允許安裝在任何地方。它使用許多通用部件并且具有低成本設計。

采用磁力耦合結構，使用壽命長。

兼容200℃高溫烘烤。(NW法蘭型150℃)

根據應用的不同，有多種扭矩選項可供選擇。

設置各種選項。（260℃高溫型、壓縮空氣驅動、電機驅動等）

日本ARIOS超小型旋轉導入機超高真空領域用 RFT系列 規格參數

RFT 34B RFT 34S RFT 34D RFT 34T RFT 3470S RFT 70S RFT 70D RFT 7034S

法蘭 φ34CF φ70CF

類型 低扭矩 正常扭矩 高扭矩 普通扭矩2軸 正常扭矩 高扭矩 超高扭矩 高扭矩中空型

（φ34CF安裝中空型）

軸徑 φ6 φ9 / φ4 φ6 φ12 φ12 不適用

傳遞扭矩（牛米） 0.15 0.7 2.0 每個軸 0.7 0.7 2.4 6.4 2.4