室溫永磁鐵探針臺為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，外接不同的測量儀器，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。另外，可用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等重要的霍爾參數。在室溫下對芯片、晶圓和器件進行非破壞測試。

  PSPM系列室溫永磁體探針臺是一款專門針對室溫垂直磁場電測環境開發的探針臺，提供0.5T垂直磁場，能夠對2寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進行重復性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。

特點
• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品，通過移動樣品座下面的滑臺，可以實現X-Y軸±100mm的移動行程，并且樣品座本身可以進行三維上的精細調節，使得樣品測試和換樣更加便捷。
• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個維度上進行調節，配合樣品座位移調節，可滿足探針快速扎到8英寸樣品的任意位置
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以內，探針臂內置線纜，避免雜亂的走線
• 探針采用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電
• 永磁鐵采用電動控制，可以實現前進后退翻轉運動
• 永磁鐵支架與探針臺采用分體隔離支架，在磁體運動時避免振動傳導到樣品上
• 樣品固定方式采用多孔分區吸附，有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道，可吸附固定1mm*1mm樣品

型號分類：

參數和指標：