液氮高低溫探針臺在科學研究和技術開發中發揮著至關重要的作用。它能夠在低溫環境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發和應用提供重要的數據支持。
PSM-LN2系列液氮高低溫探針臺能夠為半導體芯片的電學參數測試提供一個80K-800K高低溫真空測試環境，通過外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數檢測，用于低溫真空環境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電測試。
特點
• 液氮高低溫真空探針臺，15分鐘內腔體真空度可達到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到溫度只需0.2L液氮，使用方便快捷同時兼顧經濟性。
• 探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空 的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
• 探針臂 X-Y-Z-R四維調節，能滿足4英寸樣品的測試。
• 真空腔材質為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準度和穩定性
• 探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小于100fA @1V@80K--800K
• 測試溫度范圍寬，支持80K-800K連續變溫。
• 柔性探針，將探針安裝到銅制彈片上，避免扎針過程中力量過大導致樣品或電極損壞
• 上蓋采用翻蓋結構，換樣更便捷。
參數和指標：
| 探針臺主機分類 | ||||
| 型號 | PSM-LN2-2 | PSM-LN2-2H | PSM-LN2-4 | PSM-LN2-4H |
| 溫度范圍 | 80K--500K | 80K--800K | 80K--500K | 80K--800K |
| 控溫穩定性 | +/-50mK | +/-100mk | +/-50mK | +/-100mk |
| 樣品座 | ||||
| 類型及材料 | 無氧銅接地鍍金樣品座 | 無氧銅接地樣品座 | 無氧銅接地樣品座 | 無氧銅接地樣品座 |
| 尺寸 | 2寸 | 2寸 | 4寸 | 4寸 |
| 可選規格 | 絕緣樣品座 （溫度只能到400K） 同軸樣品座 （溫度只能到400K） 三同軸樣品座（溫度只能到400K） | |||
| 探針臂 | ||||
| 類型 | 直流探針臂 | |||
| 數量 | 4 | |||
| 接頭及電纜 | 三同軸接頭+極細同軸低溫電纜 | |||
| 漏電流 | 100fA@1V 真空環境中 | |||
| 信號頻率 | DC--50MHz | |||
| 匹配阻抗 | 50歐姆 | |||
| 位移范圍 | Z +/-6.5m R+/-10° X+/- 50mm,Y+/- 12.5m | X+/- 35mm,Y+/- 12.5m Z +/-6.5m R+/-10° | ||
| 光學系統 | ||||
| 顯微鏡放大倍數 | 10--180倍 | |||
| 分辨率 | 3微米 | |||
| 視場 | 22mm | |||
| 工作距離 | 90--100mm | |||
| 真空腔 | ||||
| 材料 | 鋁合金 | |||
| 腔體容積 | 4L | 5.5L | ||
| 整體尺寸 | 800*800*600 | 900*900*600 | ||
| 腔體內徑 | 124mm | 155mm | ||
| 視窗尺寸 | 50mm | 100mm | ||
| 真空腔體窗口 | 紅外吸收窗口 | |||
| 防輻射屏窗口 | N/A | 標準石英窗口 | N/A | 標準石英窗口 |
| 真空度 | 5*10E-4 torr | |||
| 預留接口 | 2個探針臂接口&2個電學接口 | |||
| 防輻射屏材料 | N/A | 不銹鋼 | N/A | 不銹鋼 |
| 液氮腔體 | ||||
| 液氮容量 | 0.5L | |||
| 冷卻時間 | 60分鐘到80K | 80分鐘到80K | ||
| 液氮消耗量 | 0.2L從室溫到80K | 0.3L從室溫到80K | ||
| 液氮保持時間 | 4小時@80K | 3小時@80K | ||
| 專用振動隔離桌 | ||||
| 尺寸 | 800*800*800 | 900*900*800 | ||
| 桌推 | 固定腳&滾輪 | |||
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