日本technorise拋光研磨機加工玻璃、晶圓等 TR06M 特點介紹

由于設備機身尺寸緊湊，尺寸為 350mm x 220mm，因此可以安裝在任何地方，并且僅在 AC100V 下工作。

可加工金屬零件、玻璃、晶圓等，通過更換拋光盤，不僅可用于研磨，還可用于拋光和簡單的CMP。

我們還支持使用漿料的濕式拋光和使用拋光片的干式拋光。

更換板材，包裝。可以對應拋光。·僅使用AC100V電源進行工作。也可對應使用漿料的濕研磨片的干研磨。可變更板轉速。通過定時器可以實現自動駕駛。非常適合小口徑芯片和芯片的簡單CMP。※CMP:化學機械拋光化學機械研磨

卷板尺寸外徑Φ150mm卷板轉速0～80rpm工件最大軸數2軸最大加工尺寸圓形約φ50mm裝置尺寸寬度340mm×厚度220mm高度310mm。裝置重量20kg電源AC100V

日本technorise拋光研磨機加工玻璃、晶圓等 TR06M規格參數

搭接板相關

 搭接板尺寸 外徑Φ150mm

 搭接板轉速 0~80rpm

無級變速

工作軸

 最大軸數 2軸

加工對象

 最大加工尺寸：圓形 約φ50mm

設備重量尺寸

 尺寸 寬340mm×深220mm×高310mm

 重量 20公斤