AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號(hào) AGF系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 10:27:53
- 訪問次數(shù) 224
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1. 產(chǎn)品概述
AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐，適用于 6、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。
2. 設(shè)備用途/原理
AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐，適用于 6、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長，4 組加熱器獨(dú)立控制，靈活的溫場調(diào)節(jié)機(jī)能力。坩堝系統(tǒng)具備升降、旋轉(zhuǎn)功能，溫場更均勻，下裝載，上維護(hù)，操作便捷。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶體尺寸 6、8 英寸，加熱方式 電阻加熱，適用材料 碳化硅，適用工藝 物理氣相輸運(yùn)法（PVT 法），適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。碳化硅單晶是最重要的第三代半導(dǎo)體材料之一，具有禁帶寬度大、高熱導(dǎo)率、高飽和電子遷移率、高擊穿電場等特性，在智能電網(wǎng)、電力牽引、電動(dòng)汽車、微波射頻等領(lǐng)域具有優(yōu)勢(shì)。
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