減壓硅外延系統

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Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統單片常壓/減壓硅外延系統北方華創

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

1. 產品概述

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途，友好的人機交互和安全性設計保障系統穩定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。

2. 設備用途/原理

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途。友好的人機交互和安全性設計保障系統穩定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。

3. 設備特點

晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料硅，適用工藝常壓：N&P 常壓硅外延，減壓：埋層外延、選擇性外延、多晶外延，適用域科研、集成電路。