日本進口filgen等離子鍍膜機EVO涂層多功能 OPC60A 特點介紹

這是一種以SEM樣品為主的導電性薄膜的制造裝置，采用“利用直流輝光放電的負輝光相區域的等離子膜制造方法”。

用鋨離子鍍膜

機電鏡觀察 　解決您的難題！

它對于防止充電、減少顆粒感和熱損傷非常有效

鋨等離子鍍膜機是一種主要用于SEM樣品的導電薄膜生產裝置，采用“使用直流輝光放電的負輝光相區域的等離子成膜方法”。

導電鋨薄膜可以使用獲得的直流等離子體CVD方法形成（在負輝光相區域內成膜）。

自動操作允許任何人安全地沉積鋨薄膜并具有良好的再現性。

日本進口filgen等離子鍍膜機EVO涂層多功能 OPC60A 規格參數

該產品陣容包括鋨薄膜專用型號和配備使用萘的等離子聚合膜機構的兩用型號。

可選配超薄膜形成機構、親水處理機構、深樣品機構，支持各種應用。

此外，除了傳統的開關型外，鋨薄膜型號的產品陣容中還新增了觸摸屏型。

對于要用掃描電子顯微鏡（SEM）成像的樣品，必須在樣品表面形成導電薄膜，以防止其因電子束照射而帶電。

傳統上，導電薄膜是使用濺射或金蒸發方法形成的。然而，人們擔心樣品表面的顆粒度以及樣品熱損傷造成的損壞。

因此，Philgen 開發了鋨等離子體鍍膜機，這是一種可以利用直流等離子體 CVD（負輝光相區域成膜）方法形成導電鋨薄膜的設備。

當少量（OsO4）氣體/萘氣體（C10H18）通入真空室并引起輝光放電時，瞬間變成等離子態，分為正輝光相區和負輝光相區。

此時，電離的分子立即附著并沉積在置于陰極板負輝相區域的樣品表面上，形成非晶態鋨薄膜/等離子體聚合膜（萘）。

鋨薄膜是非晶態的，因此不會對樣品造成熱損傷，并且當用SEM對涂層樣品進行拍照時，可以獲得極其清晰的圖像，沒有顆粒感。