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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐> CVD系統

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CVD系統

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合肥新元素科技裝備有限公司位于有“科教之城”美譽的安徽合肥,致力于高校研究院所各類理化實驗察設備儀器的供應,尤其專注于高溫加熱設備的研發、生產銷售及配套產品的供應和技術咨詢服務,是一家新生代的科技生產單位,竭力為實現“中國科技創新世界”的強國夢貢獻一份力量!

公司目前經營項目

1.專業設計、研發、生產和銷售一系列理化實驗室制備。尤其是高溫加熱類設備如箱式爐管式爐、翻蓋爐、氣氛爐CVD系統,PECVD系統、混料機、壓料機、球機以及相關輔材耗材等;

2.公司也承接實驗室各類加熱項目建設的咨詢服務,各種加熱設備的技術咨詢和維護服務;

3.各加熱類外協實驗項目:

4.為各大高校和科研院所的師生實習實訓和科學研究提供實習崗位和基地實驗室。

世界萬物皆由“元素”組成,我們都是“微小”的一份子,“微元素”的初衷----與更多志同道合的“微元素”一起,打造“傾心服務”國人的“名族品牌”,為更多的科研工作者提供質優價廉的產品和服務,為實現“科技強國”做出“力所能及”的貢獻!

 

 

實驗室電爐、馬弗爐(箱式爐)、管式爐、氣氛爐、CVD系統、PECVD系統、真空系統以及各種電爐相關配件,支持非標定制產品。

產地類別 國產 價格區間 面議
儀器種類 管式爐 應用領域 化工,地礦,冶金,航天,綜合

CVD系統(高真空)GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)1.包含一款通過CE認證的高溫管式爐,2.包含一款GYS-3Z低成本的流量計控制系統 3.包含一款OYS-300F風冷分子泵機組參數表。

CVD系統(高真空)GYS-1500C-II+GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)(CVD系統高真空)

一款通過CE認證的高溫管式爐,其爐管采用的高純氧化鋁剛玉管,加熱元件為硅碳棒。隨身帶有兩個真空密封法蘭(法蘭上已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥),控溫方式采用50段程序設置,最高溫度可達1500℃。

產品型號

管 式爐  GYS-1500C-II(φ60、φ80、φ100)

主要產品參數

電源:380V 50/60HZ

額定功率:11 KW

最高工作溫度:1500℃(<0.5h)

連續工作溫度:1400 ℃以下≤10℃/min; 1400 ℃以上≤5℃/min;

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區長度:600mm;  雙溫區長度300mm+300mm

爐體結構

爐體特點:采用雙層殼體結構并帶有風冷系統;爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,能減少能量損失

加熱元件

硅碳棒

爐管尺寸

高純石英管φ60、φ80、φ100(備注:爐子在使用前,爐管兩端先放入管堵)

外形尺寸

1450mm(L)*500mm(W)*820mm(H)

重量

150KG

溫控系統

控溫方式:包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調節,智能化50段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度:±1℃

真空密封

標配:一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈

選配:為了更快的獲得較高的真空度,建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數字式真空顯示計

法蘭接口

為了得到較好的真空狀態出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉接頭與波紋管相連接;多種接頭可選,具體請咨詢我公司銷售經理

真空度

采用雙旋片式機械真空泵真空度可以達到10-2torr;如您想獲得更高的真空度(<10-5torr or better)可選國產或進口高真空機組

可選

本公司還可以提供防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8*105至1125torr,不需因測量氣體種類不同而需要轉換系數

認證標準及核心零部件

CE、UL等認證,核心零部件有ABB、歐米茄、東明等

售后

質保期一年,終身維護;24小時在線服務

特別聲明:耗材部分如加熱元件,石英管,坩堝等不包含在內

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內

注意事項

爐管內氣壓不得高于0.02MPA;由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

氣體的流量應限制在<200   SCCM(或200ml/ min)

質子供氣系統GYS-3Z參數表

GYS-3Z是一款低成本的流量計控制系統,其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜最大可以承重1000Lbs,與本公司大多數管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上上以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀本示都集中在一個7寸的LCD觸摸屏上,便于操控的同時,可實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛應用于材料接種CVD實驗和各種材料的退火實驗。

產品型號

GYS-3Z

產品參數

電源:220V 50/60HZ

額定功率:23 W

流量計范圍:1-100SCCM;1-200SCCM; 1-500SCCM;

有一機械壓力表安裝在前面板上,與混氣管相連接

壓力表量程:-0.1~0.15MPa

混氣罐尺寸: φ80*120mm

氣口/閥門

內部連接管道為?6.35

產品尺寸

外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

重量

約30KG

產品特點

適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其方便多重氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管

氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便

采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準確,方便操作

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸

一、OYS-300F風冷分子泵機組參數表產品簡介

此機組為風冷機組無需冷卻,本機組極限真空5*10-5Pa ,充分考慮到實驗室及一些研究院所的使用條件,大大方便了客戶的使用范圍,本產品為一鍵啟動模式,大大降低了對使用者的專業要求。JTFB-300F分子泵為抗沖擊型。

二、技術資料



名稱

詳情

主要參數

?  電源:220V 50/60HZ

?  額定功率:2KW

?  工作原理:前級泵次級泵交互泵組

?  最高真空度:5*10-5Pa

?  啟動方式:一鍵啟動


真空分子泵

?  型號:JTFB-300F;

?  抽速:300L/S;

?  其他:刀口法蘭、風扇、線纜等

前級泵(機械泵)

?  型號:TRP-12;

?  抽速:12立方/小時雙級旋片

分子泵控制器

?  一鍵式啟動;

?  控制器集成電源;

?  帶頻率顯示控制器;

降溫模塊設備

風扇風冷模組

線纜

2米長驅動線纜及電源線纜

復合真空計

?  型號:ZDF5227AX

?  測量范圍:1.0×105~1*10-5Pa

?  其他:含真空計數據線纜等

泵組連接管

不銹鋼波紋管,2根

氣路控制

?  高真空擋板閥

?  型號:GD-J25/KF

泵組殼體

風冷泵組專用機架

售后

?  質保期一年,終身維護,24小時在線服務

?  特別提示:耗材部分如加熱元件、坩堝等不包括在內










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