3寸PFA Cassette晶圓載具產品規格：

3寸PFA Cassette晶圓載具系列介紹：

適用于濕制程工藝晶圓的承載、輸送。產品尺寸符合適配業內主流規范，

也可依照客戶要求進行定制化設計。

產品材料滿足：

良好的耐化學性 

超低氣體釋放 

超低吸水性

DWI主營產品

[主要產品系列]

l 化學液用隔膜閥：氣控閥、手動閥、回吸閥、減壓閥、流量調節閥等。

應用領域： 光學，醫藥，光伏，電子和微電子，半導體生產，制藥工業，生物技術和基因技術。

l 高純PFA流體元件：擴口接頭、入珠接頭、焊接接頭、卡套等

應用領域：可適用于化學品供應系統、混合分配系統、制程設備、化學品處理回收：管道、接頭、閥門、流量計、過濾器等。

l 高純PFA管材：PFA管材、防靜電PFA管

應用領域：適用于高純度化學品使用，半導體工業、化學與制藥工業、食品工業、醫藥儀器、熱交換器、液位計。

l 高純PFA填料：規整填料、散堆填料

應用領域：在電子級氫氟酸、過氧化氫、硫酸、硝酸、鹽酸、氫氧化鉀、顯影液、刻蝕液等高純電子化學品產線建立起關鍵作用。

l 高純PFA取樣瓶：高純PFA廣口瓶、高純PFA細口瓶

應用領域：是適用于實驗室應用塑料瓶，非常適合痕量金屬分析和涉及有機溶劑的應用。

l 設備耗材：去離子水噴槍

應用領域：適用于高純半導體應用等

l 載具：PEEK Cassette、PFA Cassette、光罩盒、晶舟傳送盒（Smif Pod）等

應用領域：半導體制造等