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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>硅片制備/晶體生長設備>晶圓切片機> 6寸PEEK制程用晶舟

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6寸PEEK制程用晶舟

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公司專注于高性能材料應用的創新解決方案。聚焦超高純PFA、PTFE、PEEK等高性能材料的產品研發、生產和銷售,產品廣泛應用于半導體前道制程、半導體濕法設備、電子化學品制備等領域。

氟塑料產品,PEEK卡塞

產品規格:

6寸PEEK制程用晶舟

PEEK Cassette系列介紹:

適用于制程間晶圓的傳送。產品尺寸符合適配業內主流規范,也可依照客戶要求進行定制化設計。

產品材料滿足:

避免晶圓受到靜電傷害

超低氣體釋放

超低雜質含量

耐磨且保護晶圓

耐高溫制程

產品主要指標

晶圓承載量:25

D1距:14.54mm(0.57")

槽距:4.76mm(0.19")

槽最窄距:1.52mm(0.06")


主營產品:

1、超純PFA管閥部件,可適用于化學品供應系統、混合分配系統、制程設備、化學品處理回收:管道、接頭、閥門、流量計、過濾器等。

2、超純PFA填料,在電子級氫氟酸、過氧化氫、硫酸、硝酸、鹽酸、氫氧化鉀、顯影液、刻蝕液等高純電子化學品產線建立起關鍵作用。

3、PEEK晶圓載具,4寸、4.125寸、6寸、8寸等PEEK晶舟以及專用光罩盒、通用光罩盒。







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