普發真空ADH 系列多級羅茨干式真空泵

用于最新工藝應用的新型高性能干式泵

新型高性能干式泵

ADH 系列專門為太陽能、半導體和 LED 市場的苛刻工藝應用而開發，為N2 和 H2 提供 600 至 4,500 m3/h 的高性能抽速。

半導體： H2 高抽速

ADH系列產品性能為您的工藝帶來以下優勢：

• ALD工藝處理量：小分子氣體的高抽速效率可以允許更快的在工藝步驟之間排空腔室。

• 外延和EUV：高抽速和大流量公差符合苛刻的工藝規范。

太陽能和LED：氫氣準備就緒

ADH系列為太陽能（a-Si 和 μ-Si PECVD）以及LED（MOCVDGaN，AlGaAs，AlGalnP...）提供最佳的氫氣抽送效率。

無中間維護

所有軸承均經過了油潤滑，不需要現場維護。通過改善粉末耐受性和冷凝管理，實現了較長的維護間隔以及泵壽命延長，這意味著降低了運行成本。

對工藝副產物的高耐受性

泵配備雙重溫度控制的水冷回路和集成的熱氮吹掃，以防止粉末積聚或冷凝。強大的電機可以處理大量粉末，保證良好的重啟能力。此外，精心挑選的材料可以承受腐蝕性化學清洗劑。ADH系列采用全新的監控系統進行升級，其功能有助于提高工藝可靠性。

用于低COO的高效率

在泵不用于該工藝時，智能模式可通過降低功率和氮消耗降低運行成本。得益于優化的設計，泵在同級抽送性能水平中可提供市場上最佳的功耗。優化的設計還可以降低發熱量，從而降低冷卻水流量。

堅固、安全

ADH系列的設計和材料能夠承受極大的靜態和動態內部壓力應力。這確保在用于運行爆炸性氣體（如氫氣和硅烷）的應用時具有安全性。

應用領域

半導體 平板顯示器 太陽能電池 LED

客戶受益

■ 高達4,500 m3/h 的抽速，在N2 和 H2 中具有較高的性能

  使用50和60Hz電源具有相同的性能

■ 得益于潤滑的軸承以及對工藝副產品的高耐受性，具有較長的維護間隔

■ 低功率和低耗水量實現低COO

■ 由于具有優異的抗靜態和動態內應力，從而增加了安全性

普發真空ADH系列多級羅茨干式真空泵技術參數：