探針臺系統 維修升級服務

CASCADE MICROTECH PA200探針臺是一款半/全自動量產型探針臺，專為光電（如LED）、MEMS（比如壓力傳感器）和RF（例如SAW/BAW濾波器）器件的高吞吐量功能測試而設計。該探針臺具有高精度，可以確保平穩的探針降落，并具有安全、可重復的電接觸。

探針臺系統 維修升級服務

針對各種探針臺和不同的客戶測試需求，皆可提供對應的升級方案。

高精度和高穩定性：我們的系統采用溫度控制技術，能夠實現高精度的溫度控制和穩定性。

快速降溫：我們的系統采用的制冷技術，能夠實現快速降溫，縮短測試時間。

高可靠性：我們采用高品質的材料和制造工藝，確保系統的高可靠性。

售后服務：我們提供售后服務，確保客戶在使用過程中得到及時的技術支持和解決方案。

升級內容

1. CHUCK安裝和國產化替代；

2. 高低溫防結霜的微腔定制；

3. CHUCK盤面修復；（日本TEL/TSK）

4. 基于探針臺的平整度調試；

5. 軟體兼容調試

   
   

Thermal CHUCK SystemTC-A系列是一款溫度范圍為-60℃到+200℃（可選+300℃）氣冷型高低溫晶圓卡盤系統，主要由空氣冷卻卡盤和溫控器組成。系統具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、純空氣制冷、高溫度精度與穩定性控制等特性，廣泛應用于各種尺寸（4”,6”,8”12”）的半導體器件或晶圓的變溫電學性能關鍵參數分析，如：功率器件建模測試、晶圓可靠性評估、生產型變溫檢測，變溫光電測試、射頻變溫測試等。

關鍵特征:

僅使用空氣冷卻—無液體或帕爾貼元件

溫度范圍為-60℃到+200℃（可選+300℃）

模塊化系統，適合單獨測試的需要

溫控器占地面積小，節省空間

兼容各大主流生產型或分析型探針臺

可集成全套的軟硬件于一體