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EFC270 杜邦 刻蝕殘留物去除液

具體成交價以合同協議為準

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北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領域和微納米科學領域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供的半導體設備儀器和微納米科學儀器,擁有一支經驗豐富、技術過硬的技術團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務。   未來公司將不斷和引進在微納米科學領域中起重要作用的新儀器和新產品,同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業在廣范圍、高層次上提供服務。 

納米圖形發生器,離子束刻蝕/反應離子刻蝕/感應耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機、去膠設備等

供貨周期 現貨 應用領域 生物產業,電子,電氣

EFC265   接觸清潔,金屬線清潔,TSV深硅穿孔清潔等

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除

 

 

 

杜邦plasmasolv®ekc265蝕刻后殘留物去除      

   

 

清洗接觸,金屬,穿孔和Pad

 

 

高度選擇性的殘留物去除 應用:        

應用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應用在半導體行業,以滿足關鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ DRAM 70nm集成的各個階段

下面列出了常見的應用程序: 

 

接觸清潔            

金屬線清潔

TSV深硅穿孔清潔           

鎢埋位線清洗            

聚酰亞胺清洗            

Pad清潔            

MEMS清洗

特征:

所有蝕刻后鋁清洗的單一解決方案

除重有機殘留物

寬工藝窗口

高產率 

穿孔接觸電阻降低

鋁清洗行業基準




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