Wafer級超快三維磁場探針臺(Hprobe)
- 公司名稱 昱臣半導體技術（香港）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/4/14 10:59:15
- 訪問次數 99
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!
IBEX-300晶圓超快三維磁場探針臺
主要特點：
■ 可以用于100~300mm晶圓 | ■ 嵌入式傳感器校準 |
主要應用方向：
■ 磁性隧道結
■ 磁隨機存取存儲器
■ 集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)
■ 智能傳感器
技術原理：
探針臺采用特的三維磁場發生器，每個磁場空間軸立驅動。利用這3個自由度，用戶可以在任意空間方向應用和控制場，也可以生成旋轉場。三維磁場裝置配備了所有相關配件，測試程序和磁鐵校準工具包。 三維磁發生器置于探針臺部，并在晶圓上產生局部磁場。為了適應器件測試設計，探頭被放置在晶圓片和發生器之間的間隙中。磁場發生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調，取決于所使用的探針卡和探針。 |
三維磁場裝置 |
相關參數：
面內 (XY) | 垂直 (Z) | |
大單軸磁場 | 350 mT | 550 mT |
磁場均勻性@ +/1mm | ± 1% | ± 1% |
磁場分辨率 | 0.05 mT | 0.02 mT |
角度分辨率 | 0,02° | - |
場掃描采樣率 | < 50 kHz | < 50 kHz |
R-H 回線測試時間 | < 100 ms | < 100 ms |
快速掃場能力：
儀器配置：
Hprobe探針臺配備整套儀器驅動和測量大多數磁性器件，如MRAM (STT、SOT、電壓控制)、傳感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。儀器可以包括源表和測量單元（SMU）、數字萬用表（DMM）、任意波形發生器（AWG）、脈沖發生器（PG）、交換矩陣、數據采集板等。其他儀器可根據要求提供，并且可以很容易地集成到工具的硬件和軟件中。
任意波形發生器（AWG） |
| 脈沖發生器（PG） |
源表和測量單元（SMU） | 數字萬用表（DMM） |
探針卡：
Hprobe探針臺使用非常靈活，用戶可以使用標準的商用探針卡，也可以使用帶有DC和RF探頭的微操作器。
采購中心
化工儀器網