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韓國ECOPIA真空快速退火爐RTP-1300,RTA

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快速退火爐真空退火爐退火爐

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昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司是專業(yè)的半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域儀器設(shè)備供應(yīng)商,昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司所代理的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、半導(dǎo)體企業(yè)。

昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

- 霍爾效應(yīng)測試儀(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,真空燒結(jié)爐(Reflow Solder System);

- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

- 貼片機(jī)(Die Bonder),劃片機(jī)(Scriber),球焊機(jī)/鍥焊機(jī)(Wire Bonder);

- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

- 低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

- 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE),ICP刻蝕機(jī),等離子體刻蝕機(jī);

- 致冷機(jī)/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

- 高溫超導(dǎo)磁體(HTS Magnet),快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統(tǒng),快速退火爐,PECVD,刻蝕機(jī)

Ecopia快速退火爐(4~6英寸)

 

產(chǎn)地:韓國Ecopia

型號:RTP-1300/RTP-1600

 

RTP-1300, RTP-1600為Ecopia進(jìn)口真空快速退火爐,儀器帶有控制軟件,為臺式設(shè)計。

RT-1300可以退火100mmX100mm尺寸的樣品,RTP-1600可以退火150mmX150mm尺寸的樣品。

 

技術(shù)規(guī)格:

- 加熱方式:紅外鹵素鎢燈,1.2KW/支;
- 鹵素紅外燈數(shù)量:12支,或18支;

- 升溫速率:100/秒;

- 降溫速率:60秒(1000  400);

- 溫度:1200

- 溫度精度:+/-1℃

- 樣品尺寸:100 X 100mm, 或150mm X 150mm;

- 退火環(huán)境:真空、惰性氣體、空氣、其他工藝氣氛(如氧氣、氫氣等);

- 真空泵及極限壓力:機(jī)械泵,10-3Torr水平(選配);

- 電壓:220 V,單相或三相;

- 儀器尺寸:500 X 400 X 500mm (W X D X H);

- 質(zhì)量:凈重60Kg;

儀器特點:

- 可在真空/不同氣氛/空氣不同環(huán)境下,對樣品進(jìn)行快速熱處理;

- 溫控精度高;

- 適合高校或研究所科研使用;

- 帶有RTP控制軟件;

- 緊湊的臺式設(shè)計;

- 儀器操作方便,樣片裝取容易;

- 價格合理,高性價比;

應(yīng)用領(lǐng)域:

- 快速熱退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);

- 快速熱氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);

- 快速熱氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);

- 硅化 (Silicidation);

- 擴(kuò)散 (Diffusion);

- 化合物半導(dǎo)體退火 (Compound Semiconductor Annealing);

- 離子注入后退火 (Implant Annealing);

- 電極合金化 (Contact Alloying);

- 晶化和致密化 (Crystallization and Densification);

- 合金熔點分析;

- 薄膜沉積;

等等

RTP-1300快速退火爐參考用戶:

北京師范大學(xué)、北京理工大學(xué)、昆明理工大學(xué)、東南大學(xué)、西安交通大學(xué)、渤海大學(xué)、中科院蘇州納米所、國電光伏、蘇州新磊等...

 



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