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MEB-600/800 熱阻/電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)設(shè)備

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產(chǎn)品標(biāo)簽

熱阻/電子束蒸發(fā)鍍膜

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北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器,擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團(tuán)隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。   未來公司將不斷和引進(jìn)在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品,同時也與全國各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)?!?/span>

納米圖形發(fā)生器,離子束刻蝕/反應(yīng)離子刻蝕/感應(yīng)耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機(jī)、去膠設(shè)備等

應(yīng)用方向:科研與教學(xué)

產(chǎn)品優(yōu)勢:多功能,電子槍+熱阻蒸發(fā),膜厚監(jiān)控 

產(chǎn)品配置:

樣片數(shù)量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)

蒸發(fā)材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。

蒸發(fā)腔體:高真空系統(tǒng)。

蒸發(fā)不均勻性:≤±3%-±5%

工件架:可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)

加熱:常規(guī)加熱

電子槍:E型,帶XY偏轉(zhuǎn)掃描

電子槍坩堝:6穴,17cc

膜厚監(jiān)控功能:石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制

清洗功能:可選配離子源清洗

器件一次成型復(fù)合實驗系統(tǒng):通過復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對準(zhǔn)系統(tǒng),一次完成器件的多個工藝步驟

檢測與控制光學(xué)特性功能:可選配光控儀

操作模式:全自動+半自動控制

類似產(chǎn)品: 大樣片蒸發(fā)鍍膜(MEB-800)




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